1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал «Измерительная техника»
  5. Выпуск 2013 г. № 11
Эллипсометрическийспособ оценкинеоднородноститолщинытонкопленочныхпокрытий Батурин А. С.Бормашов В. С.Гавриленко В. П.2013 год

Эллипсометрический способ оценки неоднородности толщины тонкопленочных покрытий
статья из журнала

Заказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ (Э 47)
Библиографическое описание: Эллипсометрический способ оценки неоднородности толщины тонкопленочных покрытий / А. С. Батурин [и др.]. - (Нанометрология). - Текст : непосредственный // Измерительная техника. - 2013. - № 11. - С. 17-23. - ISSN 0368-1025.
Аннотация: Предложен эллипсометрический способ оценки неоднородности толщины тонкопленочных покрытий в диапазоне 5 – 150 нм.
Год издания: 2013
Авторы: Батурин А. С. , Бормашов В. С. , Гавриленко В. П. , Заблоцкий А. В. , Зайцев С. А. , Кузин А. Ю. , Тодуа П. А. , Филиппов М. Н.
Источник: Измерительная техника
Выпуск: № 11
Номера страниц: 17-23
Количество экземпляров:
  • Абонемент научной литературы (пр. Свободный, 79, Б1-14): свободно 1 из 1 экземпляров

Похожие документы

Микроволновыйизмеритель толщины идиэлектрическойпроницаемостипокрытий сцилиндрическимобъемным резонатором… Волков В. В.Суслин М. А.2017 год

Микроволновый измеритель толщины и диэлектрической проницаемости покрытий с цилиндрическим…

  • Волков В. В. и др.
  • 2017 год
Измерение толщиныпокрытия в ходепроцессаплазменно-электролитического оксидированияпо оптическимспектрам Горбатков Михаил ВикторовичПарфенов Евгений ВладимировичМукаева Вета Робертовна2018 год

Измерение толщины покрытия в ходе процесса плазменно-электролитического оксидирования по…

  • Горбатков Михаил Викторович и др.
  • 2018 год
Система спектральногоконтроля нанесениямногослойныхдиэлектрическихпокрытий Лабусов В. А.Семенов З. В.Зарубин И. А.2013 год

Система спектрального контроля нанесения многослойных диэлектрических покрытий

  • Лабусов В. А. и др.
  • 2013 год
Математическоемоделированиеориентации деталей впроцессемагнетронногонапылениятонкопленочныхпокрытий на… Беляев С. Н.Васильков С. Д.Щербак А. Г.2014 год

Математическое моделирование ориентации деталей в процессе магнетронного напыления тонкопленочных…

  • Беляев С. Н. и др.
  • 2014 год
Способ оценкистабильностимасштабногокоэффициентапросвечивающегоэлектронногомикроскопа Заблоцкий А. В.Авилов А. С.Бодунов Д. С.2013 год

Способ оценки стабильности масштабного коэффициента просвечивающего электронного микроскопа

  • Заблоцкий А. В. и др.
  • 2013 год
Сравнительный методкалибровки солнечныхфотометров вультрафиолетовомдиапазоне Асадов Х. Г.Раджабли Р. Т.2013 год

Сравнительный метод калибровки солнечных фотометров в ультрафиолетовом диапазоне

  • Асадов Х. Г. и др.
  • 2013 год
Способ измерениятолщиныдиэлектрическихпокрытий напроводящем основаниис использованиемдиэлектрическогорезонатора Анисимов В. Г.Ташлинский А. Г.2019 год

Способ измерения толщины диэлектрических покрытий на проводящем основании с использованием…

  • Анисимов В. Г. и др.
  • 2019 год
Повышение точностивоспроизведенияединицы среднеймощности оптическогоизлучения вволоконно-оптическихсистемах… Глазов А. И.Зотов А. В.Козаченко М. Л.2014 год

Повышение точности воспроизведения единицы средней мощности оптического излучения в волоконно…

  • Глазов А. И. и др.
  • 2014 год
Некогерентный приеммодулированного поинтенсивностиоптического сигнала Гусев А. В.Юдин И. С.2013 год

Некогерентный прием модулированного по интенсивности оптического сигнала

  • Гусев А. В. и др.
  • 2013 год
Результаты сличенийэталонов единицысредней мощностилазерного излученияна длинах волн 0,532,1,064 и 10,6 мкм… Либерман А. А.Москалюк С. А.Улановский М. В.2013 год

Результаты сличений эталонов единицы средней мощности лазерного излучения на длинах волн 0,532, 1…

  • Либерман А. А. и др.
  • 2013 год
Обеспечение единстваизмерений воптометрии Левина Э. Ю.Вишняков Г. Н.Ермаков М. М.2014 год

Обеспечение единства измерений в оптометрии

  • Левина Э. Ю. и др.
  • 2014 год
Эталон единиц среднеймощности и ослабленияоптического излучениядляволоконно-оптическихсистем связи ипередачи… Глазов А. И.Зотов А. В.Козаченко М. Л.2014 год

Эталон единиц средней мощности и ослабления оптического излучения для волоконно-оптических систем…

  • Глазов А. И. и др.
  • 2014 год