1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал «Измерительная техника»
  5. Выпуск 2013 г. № 11
Эллипсометрическийспособ оценкинеоднородноститолщинытонкопленочныхпокрытий Батурин А. С.Бормашов В. С.Гавриленко В. П.2013 год

Эллипсометрический способ оценки неоднородности толщины тонкопленочных покрытий
статья из журнала

Заказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ (Э 47)
Библиографическое описание: Эллипсометрический способ оценки неоднородности толщины тонкопленочных покрытий / А. С. Батурин [и др.]. - (Нанометрология). - Текст : непосредственный // Измерительная техника. - 2013. - № 11. - С. 17-23. - ISSN 0368-1025.
Аннотация: Предложен эллипсометрический способ оценки неоднородности толщины тонкопленочных покрытий в диапазоне 5 – 150 нм.
Год издания: 2013
Авторы: Батурин А. С. , Бормашов В. С. , Гавриленко В. П. , Заблоцкий А. В. , Зайцев С. А. , Кузин А. Ю. , Тодуа П. А. , Филиппов М. Н.
Источник: Измерительная техника
Выпуск: № 11
Номера страниц: 17-23
Количество экземпляров:
  • Книгохранилище научной литературы (пр. Свободный, 79, 4 этаж): свободно 1 из 1 экземпляров