1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал «Известия высших учебных заведений. Химия и химическая технология»
  5. Выпуск 2013 г. Том 56. № 7
Формированиерельефных структур наповерхностимонокристалловсинтетического алмазаметодом реактивногоионного травления Бормашов В. С.Голованов А. В.Волков А. П.2013 год

Формирование рельефных структур на поверхности монокристаллов синтетического алмаза методом реактивного ионного травления
статья из журнала

Заказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ (Ф 79)
Библиографическое описание: Формирование рельефных структур на поверхности монокристаллов синтетического алмаза методом реактивного ионного травления / В. С. Бормашов [и др.]. - (Химия). - Текст : непосредственный // Известия вузов. Химия и химическая технология. - 2013. - Т. 56, вып. 7. - С. 57-59 : 3 рис., 1 табл. - Библиогр.: с. 59 (12 назв.). - ISSN 0579-2991.
Аннотация: Методом лазерной литографии ионного травления на поверхности монокристаллов синтетического алмаза получены рельефные структуры высотой до 2 мкм. Определены скорости и селективности травления к алюминию и хрому в плазмах различного газового состава. Наибольшая скорость реактивного ионного травления (70 нм/мин) достигнута при использовании плазмы на основе гексафторида серы, при этом наибольшая селективность травления (14) наблюдалась к хрому.
Год издания: 2013
Авторы: Бормашов В. С. , Голованов А. В. , Волков А. П. , Тарелкин С. А. , Буга С. Г. , Бланк В. Д.
Источник: Известия вузов. Химия и химическая технология
Выпуск: Т. 56, вып. 7
Номера страниц: 57-59
Количество экземпляров:
  • Абонемент научной литературы (пр. Свободный, 79, Б1-14): свободно 1 из 1 экземпляров

Похожие публикации

Реактивное ионноетравление поверхностисинтетическогомонокристалла алмазав плазме Бормашов В. С.Волков А. П.Голованов А. В.2012 год

Реактивное ионное травление поверхности синтетического монокристалла алмаза в плазме

  • Бормашов В. С. и др.
  • 2012 год
Глубокое реактивноеионное травлениесинтетического алмаза Бормашов В. С.Голованов А. В.Волков А. П.2014 год

Глубокое реактивное ионное травление синтетического алмаза

  • Бормашов В. С. и др.
  • 2014 год
Создание развитойповерхностисинтетическихмонокристаллов алмазадля повышенияудельной мощностибета-вольтаических… Голованов Антон ВладимировичБормашов Виталий СергеевичВолков Александр Павлович2016 год

Создание развитой поверхности синтетических монокристаллов алмаза для повышения удельной мощности…

  • Голованов Антон Владимирович и др.
  • 2016 год
Упругие свойствамонокристалласинтетического алмаза Сорокин Б. П.Квашнин Г. М.Теличко А. В.2013 год

Упругие свойства монокристалла синтетического алмаза

  • Сорокин Б. П. и др.
  • 2013 год
Электрофизическиесвойствасинтетическихмонокристаллов алмазас различнойконцентрациейлегирующей примесибора Бормашов В. С.Тарелкин С. А.Кузнецов М. С.2013 год

Электрофизические свойства синтетических монокристаллов алмаза с различной концентрацией…

  • Бормашов В. С. и др.
  • 2013 год
Технологияизготовления СВЧпьезоэлектрическихпреобразователей наоснове пленки AIN,нанесенной наподложку из… Сорокин Б. П.Квашнин Г. М.Бормашов В. С.2014 год

Технология изготовления СВЧ пьезоэлектрических преобразователей на основе пленки AIN, нанесенной…

  • Сорокин Б. П. и др.
  • 2014 год
Исследование влияниякристаллографическогонаправлениясинтетическогомонокристалла алмазана коэффициентвторичной… Садовой Владимир ЮрьевичБланк Владимир ДавыдовичТерентьев Сергей Александрович2016 год

Исследование влияния кристаллографического направления синтетического монокристалла алмаза на…

  • Садовой Владимир Юрьевич и др.
  • 2016 год
Электрическиесвойствавысококачественныхсинтетическихмонокристалловалмаза, легированныхбором, и диодовШоттки на… Бормашов В. С.Тарелкин С. А.Буга С. Г.2017 год

Электрические свойства высококачественных синтетических монокристаллов алмаза, легированных бором…

  • Бормашов В. С. и др.
  • 2017 год

Показать ещё

Химическоеникилированиесинтетических алмазов Строгая Г. М.Юдина Т. Ф.Ершова Т. В.2014 год

Химическое никилирование синтетических алмазов

  • Строгая Г. М. и др.
  • 2014 год
Plasma parameters andSiO[2] etchingkinetics in C[4]F[8]+ Ar + O[2] gasmixture Efremov A. M.Betelin V. B.Kwang-Ho Kwon2020 год

Plasma parameters and SiO[2] etching kinetics in C[4]F[8] + Ar + O[2] gas mixture

  • Efremov A. M. и др.
  • 2020 год
Влияниенанофрагментированияи модификациифуллереном германияна транспортныесвойствананокомпозитаGe-C[60] Овсянников Д. А.Попов М. Ю.Буга С. Г.2013 год

Влияние нанофрагментирования и модификации фуллереном германия на транспортные свойства…

  • Овсянников Д. А. и др.
  • 2013 год
Механические иколебательныесвойствалегированного азотомалмаза Иванова Т. А.Маврин Б. Н.2013 год

Механические и колебательные свойства легированного азотом алмаза

  • Иванова Т. А. и др.
  • 2013 год
Влияние политиповалмаза на профильрентгенограммалмазосодержащихматериалов Буйлов Л. Л.Ботев А. А.2013 год

Влияние политипов алмаза на профиль рентгенограмм алмазосодержащих материалов

  • Буйлов Л. Л. и др.
  • 2013 год
Исследованиеграфитизации алмазаметодомвысокотемпературнойдифрактометрии Полушин Н. И.Кучина И. Ю.Степарева Н. Н.2013 год

Исследование графитизации алмаза методом высокотемпературной дифрактометрии

  • Полушин Н. И. и др.
  • 2013 год

Синтез и свойства соединений спарфлоксацина

  • Головнев Николай и др.
  • 2012 год

Изучение сульфатов микрокристаллической целлюлозы, полученных с использованием хлорсульфоновой и…

  • Левданский В. А. и др.
  • 2016 год