Библиографическое описание:Формирование рельефных структур на поверхности монокристаллов синтетического алмаза методом реактивного ионного травления / В. С. Бормашов [и др.]. - (Химия). - Текст : непосредственный // Известия вузов. Химия и химическая технология. - 2013. - Т. 56, вып. 7. - С. 57-59 : 3 рис., 1 табл. - Библиогр.: с. 59 (12 назв.). - ISSN 0579-2991.
Аннотация:Методом лазерной литографии ионного травления на поверхности монокристаллов синтетического алмаза получены рельефные структуры высотой до 2 мкм. Определены скорости и селективности травления к алюминию и хрому в плазмах различного газового состава. Наибольшая скорость реактивного ионного травления (70 нм/мин) достигнута при использовании плазмы на основе гексафторида серы, при этом наибольшая селективность травления (14) наблюдалась к хрому.
