Библиографическое описание:Тарнавский, Г. А. Легирование кремниевой пластины со сложным нанорельефом поверхности / Г. А. Тарнавский. - (Автоматизация инженерного труда). - Текст : непосредственный // Справочник. Инженерный журнал. - 2012. - № 1. - С. 14-20. - Библиогр.: с. 20 (15 назв. ). - ISSN 0203-347X.
Аннотация:Рассмотрены возможности компьютерного моделирования легирования кремниевой пластины со сложным нанорельефом поверхности. Приведены результаты вычислений ионной имплантации примесей (фосфора, бора, мышьяка) в наноколонны кремния.
