1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Справочник. Инженерный журнал
  5. Выпуск 2012 г. № 4
Легированиекремниевой пластинысо сложнымнанорельефомповерхности(возможностивычислительногоэксперимента) Тарнавский Г. А.2012 год

Легирование кремниевой пластины со сложным нанорельефом поверхности (возможности вычислительного эксперимента)
статья из журнала

Заказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ (Т 21)
Библиографическое описание: Тарнавский, Г. А. Легирование кремниевой пластины со сложным нанорельефом поверхности (возможности вычислительного эксперимента) / Г. А. Тарнавский. - (Автоматизация инженерного труда). - Текст : непосредственный // Справочник. Инженерный журнал. - 2012. - № 4. - С. 23-28. - ISSN 0203-347X.
Аннотация: Рассмотрены возможности компьютерного моделирования легирования кремниевой пластины со сложным нанорельефом поверхности. Приведены результаты вычислений ионной имплантации примесей (фосфора, бора, мышьяка) в наноколонны кремния.
Год издания: 2012
Авторы: Тарнавский Г. А.
Источник: Справочник. Инженерный журнал
Выпуск: № 4
Номера страниц: 23-28
Количество экземпляров:
  • Абонемент научной литературы (пр. Свободный, 79, 3 этаж, холл): свободно 1 из 1 экземпляров