1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Справочник. Инженерный журнал
  5. Выпуск 2012 г. № 4
Легированиекремниевой пластинысо сложнымнанорельефомповерхности(возможностивычислительногоэксперимента) Тарнавский Г. А.2012 год

Легирование кремниевой пластины со сложным нанорельефом поверхности (возможности вычислительного эксперимента)
статья из журнала

Заказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ (Т 21)
Библиографическое описание: Тарнавский, Г. А. Легирование кремниевой пластины со сложным нанорельефом поверхности (возможности вычислительного эксперимента) / Г. А. Тарнавский. - (Автоматизация инженерного труда). - Текст : непосредственный // Справочник. Инженерный журнал. - 2012. - № 4. - С. 23-28. - ISSN 0203-347X.
Аннотация: Рассмотрены возможности компьютерного моделирования легирования кремниевой пластины со сложным нанорельефом поверхности. Приведены результаты вычислений ионной имплантации примесей (фосфора, бора, мышьяка) в наноколонны кремния.
Год издания: 2012
Авторы: Тарнавский Г. А.
Источник: Справочник. Инженерный журнал
Выпуск: № 4
Номера страниц: 23-28
Количество экземпляров:
  • Абонемент научной литературы (пр. Свободный, 79, Б1-14): свободно 1 из 1 экземпляров

Похожие публикации

Легированиекремниевой пластинысо сложнымнанорельефомповерхности Тарнавский Г. А.2012 год

Легирование кремниевой пластины со сложным нанорельефом поверхности

  • Тарнавский Г. А.
  • 2012 год
Моделированиераспределенияионно-имплантированных атомов вметаллических мишенях Белова И. М.Овчинников В. В.Лукьяненко Е. В.2016 год

Моделирование распределения ионно-имплантированных атомов в металлических мишенях

  • Белова И. М. и др.
  • 2016 год
Влияние фосфора икремния на структуруи свойствавысокожаропрочныхлитейных сплавов иразработкаэффективных методов… Сидоров В. В.Ригин В. Е.Мин П. Г.2015 год

Влияние фосфора и кремния на структуру и свойства высокожаропрочных литейных сплавов и разработка…

  • Сидоров В. В. и др.
  • 2015 год
Влияние упругихтрансформируемыхэлементов конструкциина точностьстабилизациикосмического аппарата Геча В. Я.Канунникова Е. А.Чирков В. П.2013 год

Влияние упругих трансформируемых элементов конструкции на точность стабилизации космического…

  • Геча В. Я. и др.
  • 2013 год
Влияния легированиябором на структурусварочных швов длястали 65Г Аулов В. Ф.Ишков А. В.Иванайский В. В.2018 год

Влияния легирования бором на структуру сварочных швов для стали 65Г

  • Аулов В. Ф. и др.
  • 2018 год
Модернизацияустановки дляобработки деталей сосложным профилемрабочей поверхности Скрябин В. А.2020 год

Модернизация установки для обработки деталей со сложным профилем рабочей поверхности

  • Скрябин В. А.
  • 2020 год
Дистанционноеобучение:тренинг-комплекстретьего уровняраздела "Виртуальноепроектированиенаносистем" интернет… Тарнавский Г. А.2012 год

Дистанционное обучение: тренинг-комплекс третьего уровня раздела "Виртуальное проектирование…

  • Тарнавский Г. А.
  • 2012 год
Методологияпараметрическогопроектированиятехнологическихпроцессов Дерябин И. П.2012 год

Методология параметрического проектирования технологических процессов

  • Дерябин И. П.
  • 2012 год

Показать ещё

Анализ влияниякомпонентов рецептурыи условийприготовленияабразивнойформовочной массы наее технологическиесвойства Маринов Н. А.Романенко A. M.2012 год

Анализ влияния компонентов рецептуры и условий приготовления абразивной формовочной массы на ее…

  • Маринов Н. А. и др.
  • 2012 год
Применениеклассификации системменеджмента качествадля оценки исовершенствованиятехнологическогопроцесса сборки Безъязычный В. Ф.Ильина М. Е.2012 год

Применение классификации систем менеджмента качества для оценки и совершенствования…

  • Безъязычный В. Ф. и др.
  • 2012 год
Численноемоделированиенапряженно-деформированного состоянияазотированныхзубчатых колес изконстркционной стали… Жуков А. А.Хасанова Л. А.Немтырев О. В.2014 год

Численное моделирование напряженно-деформированного состояния азотированных зубчатых колес из…

  • Жуков А. А. и др.
  • 2014 год

Моделирование спектров характеристических потерь энергии электронов кремниевых пластин с…

  • Александрова Г. А. и др.
  • 2004 год
Компьютерный центрдиагностики процессарезания на станках сЧПУ Макаров В. Ф.Абзаев Р. С.Истомин М. И.2013 год

Компьютерный центр диагностики процесса резания на станках с ЧПУ

  • Макаров В. Ф. и др.
  • 2013 год

Исследование способности высокопрочной стали к пластической деформации при изгибе на угол 90°

  • Чукин М. В. и др.
  • 2016 год

Complex Approach to the Evaluation of the Reactivity of Solid Organic Fuels

  • Boiko Evgeny A. и др.
  • 2011 год

Modeling Thermal Conditions of the Process Combined Rolling-Extruding

  • Belyaev S. V. и др.
  • 2014 год