1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал «Измерительная техника»
  5. Выпуск 2012 г. № 10
Стандартный образецдля калибровкипросвечивающихэлектронныхмикроскопов Бодунов Д. С.Гавриленко В. П.Заблоцкий А. В.2012 год

Стандартный образец для калибровки просвечивающих электронных микроскопов
статья из журнала

Заказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ (С 76)
Библиографическое описание: Стандартный образец для калибровки просвечивающих электронных микроскопов / Д. С. Бодунов [и др.]. - (Нанометрология). - Текст : непосредственный // Измерительная техника. - 2012. - № 10. - С. 16-18. - ISSN 0368-1025.
Аннотация: Разработан и утвержден тип стандартного образца параметров шаговой структуры в тонком слое монокристаллического кремния, предназначенного для калибровки просвечивающих электронных микроскопов.
Год издания: 2012
Авторы: Бодунов Д. С. , Гавриленко В. П. , Заблоцкий А. В. , Кузин А. А. , Кузин А. Ю. , Митюхляев В. Б. , Раков А. В. , Тодуа П. А. , Филиппов М. Н.
Источник: Измерительная техника
Выпуск: № 10
Номера страниц: 16-18
Количество экземпляров:
  • Книгохранилище научной литературы (пр. Свободный, 79, 3 этаж): свободно 1 из 1 экземпляров