1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал «Измерительная техника»
  5. Выпуск 2013 г. № 6
Стандартные образцыпространственныххарактеристикнаноструктур наоснове аморфныхмногослойных покрытий Батурин А. С.Бормашов В. С.Ермакова М. А.2013 год

Стандартные образцы пространственных характеристик наноструктур на основе аморфных многослойных покрытий
статья из журнала

Заказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ (С 76)
Библиографическое описание: Стандартные образцы пространственных характеристик наноструктур на основе аморфных многослойных покрытий / А. С. Батурин [и др.]. - (Нанометрология). - Текст : непосредственный // Измерительная техника. - 2013. - № 6. - С. 20-25. - ISSN 0368-1025.
Аннотация: Представлены результаты разработки стандартных образцов СПАМ-20 и СПАМ-100 пространственных характеристик наноструктур на основе периодических многослойных покрытий, предназначенных для контроля точности измерений и аттестации методик выполнения измерений, основанных на методе рентгеновской рефлектометрии. Рассмотрены метрологические характеристики указанных стандартных образцов.
Год издания: 2013
Авторы: Батурин А. С. , Бормашов В. С. , Ермакова М. А. , Морозова Е. А. , Морозов С. А. , Коростылев Е. В. , Зарубин С. С. , Маркеев А. М. , Тодуа П. А.
Источник: Измерительная техника
Выпуск: № 6
Номера страниц: 20-25
Количество экземпляров:
  • Книгохранилище научной литературы (пр. Свободный, 79, 3 этаж): свободно 1 из 1 экземпляров