1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал «Метрология»
  5. Выпуск 2013 г. № 8
Спецификаформированиянеопределенностиизмеренийгеометрическихпараметров рельефаповерхности методамиинтерферометриивысокого разрешения Золотаревский С. Ю.Кононогов С. А.Лысенко В. Г.2013 год

Специфика формирования неопределенности измерений геометрических параметров рельефа поверхности методами интерферометрии высокого разрешения
статья из журнала

Заказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ (С 71)
Библиографическое описание: Специфика формирования неопределенности измерений геометрических параметров рельефа поверхности методами интерферометрии высокого разрешения / С. Ю. Золотаревский [и др.]. - (Нанометрология). - Текст : непосредственный // Метрология. - 2013. - № 8. - С. 11-21. - Библиогр.: с. 21 (7 назв.). - ISSN 0132-4713.
Аннотация: Рассмотрены методика и аппаратура прецизионной интерферометрии высокого разрешения как эффективный способ 3D-измерений в нанометровом диапазоне.
Год издания: 2013
Авторы: Золотаревский С. Ю. , Кононогов С. А. , Лысенко В. Г. , Левин Г. Г. , Лясковский В. Л. , Гусев А. С. , Голубев С. С.
Источник: Метрология
Выпуск: № 8
Номера страниц: 11-21
Количество экземпляров:
  • Читальный зал (пер. Вузовский, 6Д): свободно 1 из 1 экземпляров

Похожие публикации

Основные физическиеэффекты, влияющие наформированиенеопределенностиизмерений параметроврельефа поверхностив… Кононогов С. А.Золотаревский С. Ю.Лысенко В. Г.2013 год

Основные физические эффекты, влияющие на формирование неопределенности измерений параметров…

  • Кононогов С. А. и др.
  • 2013 год
Анализнеопределенностей,обусловленныхметодическими иинструментальнымипогрешностямиинтерферометриипараметров… Новиков Д. А.Кононогов С. А.Золотаревский С. Ю.2013 год

Анализ неопределенностей, обусловленных методическими и инструментальными погрешностями…

  • Новиков Д. А. и др.
  • 2013 год
Анализ методовсверхразрешения воптическойинтерференционноймикроскопии Булыгин Ф. В.Золотаревский С. Ю.Кононогов С. А.2013 год

Анализ методов сверхразрешения в оптической интерференционной микроскопии

  • Булыгин Ф. В. и др.
  • 2013 год
Инженерные основыизмеренийнанометровой точности Лич Ричард2012 год

Инженерные основы измерений нанометровой точности

  • Лич Ричард
  • 2012 год
Алгоритм формированияпрофиля рельефаместности сиспользованиеммалогабаритной РЛС ссинтезированнойапертурой… Иванников К. С.Купряшкин И. Ф.Рязанцева Л. Б.2019 год

Алгоритм формирования профиля рельефа местности с использованием малогабаритной РЛС с…

  • Иванников К. С. и др.
  • 2019 год
Использованиетандемноймасс-спектрометриивысокого разрешения синтеллектуальнымуправлениемизмерениями дляоценки… Беризовская Е. И.Максимов В. А.Васильев К. Ю.2015 год

Использование тандемной масс-спектрометрии высокого разрешения с интеллектуальным управлением…

  • Беризовская Е. И. и др.
  • 2015 год
Фотопроекционныйметод измерениягеометрическихпараметров объектовсложной формы Скворцов Б. В.Черных А. В.Малышева-Стройкова А. Н.2017 год

Фотопроекционный метод измерения геометрических параметров объектов сложной формы

  • Скворцов Б. В. и др.
  • 2017 год
Метод бесконтактныхизмеренийэлектромагнитныхпараметров тонкихпленок инаноматериалов Скворцов Б. В.Борминский С. А.Солнцева А. В.2016 год

Метод бесконтактных измерений электромагнитных параметров тонких пленок и наноматериалов

  • Скворцов Б. В. и др.
  • 2016 год