1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал «Метрология»
  5. Выпуск 2013 г. № 8
Спецификаформированиянеопределенностиизмеренийгеометрическихпараметров рельефаповерхности методамиинтерферометриивысокого разрешения Золотаревский С. Ю.Кононогов С. А.Лысенко В. Г.2013 год

Специфика формирования неопределенности измерений геометрических параметров рельефа поверхности методами интерферометрии высокого разрешения
статья из журнала

Заказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ (С 71)
Библиографическое описание: Специфика формирования неопределенности измерений геометрических параметров рельефа поверхности методами интерферометрии высокого разрешения / С. Ю. Золотаревский [и др.]. - (Нанометрология). - Текст : непосредственный // Метрология. - 2013. - № 8. - С. 11-21. - Библиогр.: с. 21 (7 назв.). - ISSN 0132-4713.
Аннотация: Рассмотрены методика и аппаратура прецизионной интерферометрии высокого разрешения как эффективный способ 3D-измерений в нанометровом диапазоне.
Год издания: 2013
Авторы: Золотаревский С. Ю. , Кононогов С. А. , Лысенко В. Г. , Левин Г. Г. , Лясковский В. Л. , Гусев А. С. , Голубев С. С.
Источник: Метрология
Выпуск: № 8
Номера страниц: 11-21
Количество экземпляров:
  • Читальный зал (пер. Вузовский, 6Д): свободно 1 из 1 экземпляров