Библиографическое описание:Система спектрального контроля нанесения многослойных диэлектрических покрытий / В. А. Лабусов [и др.]. - (Нанометрология). - Текст : непосредственный // Измерительная техника. - 2013. - № 12. - С. 11-14. - ISSN 0368-1025.
Аннотация:Создана система прецизионного спектрального контроля толщин слоев многослойных диэлектрических покрытий в широком спектральном диапазоне. Приведен пример использования системы для изготовления просветляющего покрытия с максимальным коэффициентом отражения 0, 15 % в спектральном диапазоне 400–660 нм на вакуумной установке ВУ-2М.
