Библиографическое описание:Реактивное ионное травление поверхности синтетического монокристалла алмаза в плазме / В. С. Бормашов [и др.]. - Текст : непосредственный // Известия вузов. Химия и химическая технология. - 2012. - Т. 55, вып. 6. - С. 71-73 : 2 рис., 1 табл. - Библиогр.: с. 73 (6 назв.). - ISSN 0579-2991.
Аннотация:Исследовано влияние реактивного ионного травления в плазме Аr/О[2] на синтетический НРНТ монокристалл алмаза. Было достигнуто уменьшение среднеквадратичной шероховатости с 4, 6 до 3, 7 нм на базе 10 мкм х 10 мкм. Топография поверхности исследовалась с помощью атомно-силовой микроскопии (АСМ) на различных пространственных масштабах.
