Библиографическое описание:Перинский, В. В. Ионно-лучевая литография в технологии полупроводниковой СВЧ-микроэлектроники / В. В. Перинский, В. Н. Лясников. - (Техника сверхвысоких частот). - Текст : непосредственный // Антенны. - 2012. - № 3 (178). - С. 18-20. - Библиогр.: с. 20 (2 назв.). - ISSN 0320-9601.
Аннотация:Изготовление интегральных схем СВЧ и разработка сложных монолитных схем требует новой технологической базы на основе совместимых между собой лучевых методов локальной обработки материалов.