Ионно-лучеваялитография втехнологииполупроводниковойСВЧ-микроэлектроники Перинский В. В.Лясников В. Н.2012 год

Ионно-лучевая литография в технологии полупроводниковой СВЧ-микроэлектроники
статья из журнала