Библиографическое описание:Перинская, И. В. Ионно-имплантационная обработка металлических слоев в технологии микроприборов СВЧ / И. В. Перинская. - Текст : непосредственный // Антенны. - 2011. - № 11 (174). - С. 44-50 : 5 рис., 4 табл. - Библиогр.: с. 49 (5 назв.). - ISSN 0320-9601.
Аннотация:Разработана новая технология наноразмерной ионно-лучевой пассивации металлов, используемых в электротехнологии изготовления СВЧ-интегральных схем. Технология позволяет формировать рациональную структуру с наноразмерными поверхностями составляющими, обеспечивает коррозионную защиту в сочетании с неухудшением прочности, износостойкости, СВЧ- и технологических свойств металлов.
