Библиографическое описание:Основные физические эффекты, влияющие на формирование неопределенности измерений параметров рельефа поверхности в нанометровом диапазоне размеров / С. А. Кононогов [и др.]. - (Нанометрология). - Текст : непосредственный // Метрология. - 2013. - № 8. - С. 4-10. - Библиогр.: с. 10 (5 назв.). - ISSN 0132-4713.
Аннотация:Рассмотрены поверхностные эффекты в различных частях нанометрового диапазона, которые влияют на свойства наноструктурированных продуктов конструкционного и функционального назначения.
