Библиографическое описание:Никитин, А. В. Использование математического моделирования для измерений наноразмеров в микроэлектронике / А. В. Никитин. - (Нанометрология). - Текст : непосредственный // Измерительная техника. - 2011. - № 12. - С. 25-29. - ISSN 0368-1025.
Аннотация:Разработаны "точная" и "упрощенная" математические модели, имитирующие видеосигнал в сканирующем электронном микроскопе. Показано, что "упрощенная" модель практически адекватна "точной", но требует существенно меньших затрат вычислительных ресурсов. Даны примеры использования этих моделей при разработке нового поколения практических алгоритмов высокоточных измерений наноразмерных элементов современных интегральных схем.
