Библиографическое описание:Модуляционный интерференционный микроскоп как средство измерения линейных размеров наноструктур / С. Н. Григорьев [и др.]. - (Линейные и угловые измерения). - Текст : непосредственный // Измерительная техника. - 2012. - № 5. - С. 38-40. - ISSN 0368-1025.
Аннотация:Разработана новая версия модуляционного интерференционного микроскопа с длинноходовым координатным столом на аэромагнитных направляющих, обеспечивающих перемещение микроскопа с отклонением от прямолинейности не более 0, 1 мкм на длине хода до 300 мм. Рассмотрены метрологические аспекты применения микроскопа для измерения линейных размеров наноструктур. Приведены результаты измерений основных параметров топологии интегральных микросхем.
