Модуляционныйинтерференционныймикроскоп каксредство измерениялинейных размеровнаноструктур Григорьев С. Н.Андреев А. Г.Ромаш В. Е.2012 год

Модуляционный интерференционный микроскоп как средство измерения линейных размеров наноструктур
статья из журнала

Заказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ (М 74)
Библиографическое описание: Модуляционный интерференционный микроскоп как средство измерения линейных размеров наноструктур / С. Н. Григорьев [и др.]. - (Линейные и угловые измерения). - Текст : непосредственный // Измерительная техника. - 2012. - № 5. - С. 38-40. - ISSN 0368-1025.
Аннотация: Разработана новая версия модуляционного интерференционного микроскопа с длинноходовым координатным столом на аэромагнитных направляющих, обеспечивающих перемещение микроскопа с отклонением от прямолинейности не более 0, 1 мкм на длине хода до 300 мм. Рассмотрены метрологические аспекты применения микроскопа для измерения линейных размеров наноструктур. Приведены результаты измерений основных параметров топологии интегральных микросхем.
Год издания: 2012
Авторы: Григорьев С. Н. , Андреев А. Г. , Ромаш В. Е. , Бушуев С. В. , Игнатьев П. С. , Лопарев А. В. , Индукаев В. К. , Осипов П. А.
Источник: Измерительная техника
Выпуск: № 5
Номера страниц: 38-40
Количество экземпляров:
  • Абонемент научной литературы (пр. Свободный, 79, Б1-14): свободно 1 из 1 экземпляров

Похожие публикации

Использованиеавтоматизированногоинтерференционногомикроскопа вбиологическихисследованиях Минаев В. П.Юсипович А. И.2012 год

Использование автоматизированного интерференционного микроскопа в биологических исследованиях

  • Минаев В. П. и др.
  • 2012 год
Высотомеры длялинейных измерений Этингоф М. И.2013 год

Высотомеры для линейных измерений

  • Этингоф М. И.
  • 2013 год
Автоматизированныйвыбор методов исредств измеренийотклоненийрасположения Телешевский В. И.Глубоков А. В.Глубокова С. В.2012 год

Автоматизированный выбор методов и средств измерений отклонений расположения

  • Телешевский В. И. и др.
  • 2012 год
Информационно-энтропийный подход к оценкеметрологическогоресурса средствизмерений Коровайцев А. А.Ломакин М. И.Сухов А. В.2014 год

Информационно-энтропийный подход к оценке метрологического ресурса средств измерений

  • Коровайцев А. А. и др.
  • 2014 год
Метод калибровкисредств измеренийпараметров качествалазерного пучка Абдрахманов К. Ш.2012 год

Метод калибровки средств измерений параметров качества лазерного пучка

  • Абдрахманов К. Ш.
  • 2012 год
Приоритетноенаправлениепроектированияпрецизионных средствизмерений линейных иугловых величин Янушкин В. Н.Коляда Ю, Б.Крушняк Н. Т.2014 год

Приоритетное направление проектирования прецизионных средств измерений линейных и угловых величин

  • Янушкин В. Н. и др.
  • 2014 год
Реконструкция средствизмеренийлинейно-угловыхперемещений на базепрецизионнойэкстремальнойизмерительной системы Янушкин В. Н.Мелекаев М. А.2017 год

Реконструкция средств измерений линейно-угловых перемещений на базе прецизионной экстремальной…

  • Янушкин В. Н. и др.
  • 2017 год
Исследованиеметрологическиххарактеристикизмерительногосканирующегозондового микроскопас применением… Гоголинский К. Б.Губский К. Г.Кузнецов А. Г.2012 год

Исследование метрологических характеристик измерительного сканирующего зондового микроскопа с…

  • Гоголинский К. Б. и др.
  • 2012 год

Показать ещё

Выбор методовпроверки средствизмерений в условияхограниченных ресурсов Филимонов С. Н.2014 год

Выбор методов проверки средств измерений в условиях ограниченных ресурсов

  • Филимонов С. Н.
  • 2014 год
Индикаторы длялинейных измерений Вороничев П. П.Этингоф М. И.2015 год

Индикаторы для линейных измерений

  • Вороничев П. П. и др.
  • 2015 год
Методики измеренийкак средство ихметрологическогообеспечения Юрова Е. А.Денисович Е. Ю.2014 год

Методики измерений как средство их метрологического обеспечения

  • Юрова Е. А. и др.
  • 2014 год
Виртуальные опорныезначения длякалибровки средствизмерений топографиипространственныхповерхностей Скрипка В. Л.Зеленкова М. В.2013 год

Виртуальные опорные значения для калибровки средств измерений топографии пространственных…

  • Скрипка В. Л. и др.
  • 2013 год
Эталонный комплекссредств обеспеченияединства измеренийдлины в диапазонесвыше 24 м Щипунов А. Н.Татаренко В. М.Денисенко О. В.2014 год

Эталонный комплекс средств обеспечения единства измерений длины в диапазоне свыше 24 м

  • Щипунов А. Н. и др.
  • 2014 год
Об утверждении типовсредств измерения 2014 год

Об утверждении типов средств измерения

  • 2014 год
Об утверждении типовсредств измерения 2014 год

Об утверждении типов средств измерения

  • 2014 год
Об утверждении типовсредств измерения 2014 год

Об утверждении типов средств измерения

  • 2014 год