Библиографическое описание:Исследование метрологических характеристик измерительного сканирующего зондового микроскопа с применением калибровочных решеток типа TGZ / К. Б. Гоголинский [и др.]. - (Оптико-физические измерения). - Текст : непосредственный // Измерительная техника. - 2012. - № 4. - С. 18-21. - ISSN 0368-1025.
Аннотация:Кратко описаны устройство и принцип работы отечественного измерительного сканирующего зондового микроскопа "НаноСкан-3Дi". Исследование метрологических характеристик этого измерительного комплекса с помощью линейных мер типа TGZ продемонстрировало высокий уровень воспроизводимости проводимых измерений и совпадение их результатов с данными, полученными при калибровке в PTB (Германия).
