1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал «Измерительная техника»
  5. Выпуск 2013 г. № 3
Искажение профилярельефных элементовна поверхностимонокристаллическогокремния в результатеих контаминации внизковольтномрастровом электронноммикроскопе Гавриленко В. П.Кузин А. Ю.Митюхляев В. Б.2013 год

Искажение профиля рельефных элементов на поверхности монокристаллического кремния в результате их контаминации в низковольтном растровом электронном микроскопе
статья из журнала

Заказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ (И 86)
Библиографическое описание: Искажение профиля рельефных элементов на поверхности монокристаллического кремния в результате их контаминации в низковольтном растровом электронном микроскопе / В. П. Гавриленко [и др.]. - (Нанометрология). - Текст : непосредственный // Измерительная техника. - 2013. - № 3. - С. 12-15. - ISSN 0368-1025.
Аннотация: Представлены результаты исследований влияния контаминации в растровом электронном микроскопе S-4800 при энергии электронов 1 кэВ на профиль рельефных элементов меры МШПС-2. 0К. Показано, что после электронного облучения наблюдаемая ширина верхнего основания рельефных элементов увеличивается в зависимости от дозы облучения при его разных режимах.
Год издания: 2013
Авторы: Гавриленко В. П. , Кузин А. Ю. , Митюхляев В. Б. , Раков А. В. , Тодуа П. А. , Филиппов М. Н. , Шаронов В. А.
Источник: Измерительная техника
Выпуск: № 3
Номера страниц: 12-15
Количество экземпляров:
  • Абонемент научной литературы (пр. Свободный, 79, Б1-14): свободно 1 из 1 экземпляров

Похожие публикации

Способ оценкистабильностимасштабногокоэффициентапросвечивающегоэлектронногомикроскопа Заблоцкий А. В.Авилов А. С.Бодунов Д. С.2013 год

Способ оценки стабильности масштабного коэффициента просвечивающего электронного микроскопа

  • Заблоцкий А. В. и др.
  • 2013 год
Измерение линейныхразмеров элементовнанорельефа страпецеидальнымпрофилем сеченияметодомдефокусировки… Гавриленко В. П.Кузин А. Ю.Ларионов Ю. В.2012 год

Измерение линейных размеров элементов нанорельефа с трапецеидальным профилем сечения методом…

  • Гавриленко В. П. и др.
  • 2012 год
Стандартный образецдля калибровкипросвечивающихэлектронныхмикроскопов Бодунов Д. С.Гавриленко В. П.Заблоцкий А. В.2012 год

Стандартный образец для калибровки просвечивающих электронных микроскопов

  • Бодунов Д. С. и др.
  • 2012 год
Применениереконструированнойповерхности кремниядля калибровкисканирующихтуннельныхмикроскопов Кузин А. Ю.Тодуа П. А.Панов В. И.2012 год

Применение реконструированной поверхности кремния для калибровки сканирующих туннельных микроскопов

  • Кузин А. Ю. и др.
  • 2012 год
Влияние отжига нахарактеристикибиполярныхтранзисторов какчувствительныхэлементов датчиковпоглощенной дозы Бакеренков Александр СергеевичРодин Александр СергеевичПершенков Вячеслав Сергеевич2018 год

Влияние отжига на характеристики биполярных транзисторов как чувствительных элементов датчиков…

  • Бакеренков Александр Сергеевич и др.
  • 2018 год
Технологическиеаспекты эксплуатациилабораторногокомплекса NI Elvis IIпри изученииэлектронных приборови устройств Белоусов АлександрВладимировичКошлич Юрий АлексеевичТретьяков Олег Вячеславович2015 год

Технологические аспекты эксплуатации лабораторного комплекса NI Elvis II при изучении электронных…

  • Белоусов Александр Владимирович и др.
  • 2015 год
Определениепараметров центроврекомбинации всиловыхполупроводниковыхприборах Булярский С. В.Жуков А. В.Ермаков М. С.2015 год

Определение параметров центров рекомбинации в силовых полупроводниковых приборах

  • Булярский С. В. и др.
  • 2015 год
Исследование скоростирадиационнойдеградации кремниевыхи SiGe биполярныхтранзисторов Фелицын ВладиславАлександровичБакеренков Александр СергеевичРодин Александр Сергеевич2016 год

Исследование скорости радиационной деградации кремниевых и SiGe биполярных транзисторов

  • Фелицын Владислав Александрович и др.
  • 2016 год

Показать ещё

Исследованиехимического составаповерхностного слоятитанового сплава пришлифовании его кругомиз карбида кремния… Носенко С. В.Носенко В. А.Крутикова А. А.2015 год

Исследование химического состава поверхностного слоя титанового сплава при шлифовании его кругом…

  • Носенко С. В. и др.
  • 2015 год
Контрольно-измерительные МЭМС сиспользованиеммалогабаритныхчувствительныхэлементов измонокристаллического… Сергеева Наталья АлексеевнаЦивинская Татьяна АнатольевнаШахнов Вадим Анатольевич2016 год

Контрольно-измерительные МЭМС с использованием малогабаритных чувствительных элементов из…

  • Сергеева Наталья Алексеевна и др.
  • 2016 год
Пассивные элементысверхвысокочастотныхинтегральных схем(СВЧ ИС) на алмазе Афанасьев М. С.Бугаев А. С.Захарченко К. В.2013 год

Пассивные элементы сверхвысокочастотных интегральных схем (СВЧ ИС) на алмазе

  • Афанасьев М. С. и др.
  • 2013 год
Физическоемоделирование линийсвязи маломощных КНИКМОП элементовбыстродействующихмикропроцессоров Горячев В. А.2012 год

Физическое моделирование линий связи маломощных КНИ КМОП элементов быстродействующих…

  • Горячев В. А.
  • 2012 год
Исследование методовсинтеза, строения исвойств комплексовфлавоноидов с ионамиметаллов Трофимова Наталья НиколаевнаСтолповская Елена ВладимировнаБабкин Василий Анатольевич2013 год

Исследование методов синтеза, строения и свойств комплексов флавоноидов с ионами металлов

  • Трофимова Наталья Николаевна и др.
  • 2013 год
Определениесобственных тепловыхсопротивлений силовыхтранзисторов и диодовIGBT модуля на основеего трёхмерной модели Ильин М. В.Вилков Е. А.Гуляев И. В.2019 год

Определение собственных тепловых сопротивлений силовых транзисторов и диодов IGBT модуля на…

  • Ильин М. В. и др.
  • 2019 год
Моделированиемногозатворныхтранзисторныхструктур какэлементов электронныхдатчиков Краснюк Андрей АнатольевичМарьина Елена ВладимировнаИмаметдинов Эмиль Фэридович2018 год

Моделирование многозатворных транзисторных структур как элементов электронных датчиков

  • Краснюк Андрей Анатольевич и др.
  • 2018 год
Исследование методовсинтеза, строения исвойств комплексовфлавоноидов с ионамиметаллов Трофимова Наталья НиколаевнаСтолповская Елена ВладимировнаБабкин Василий Анатольевич2013 год

Исследование методов синтеза, строения и свойств комплексов флавоноидов с ионами металлов

  • Трофимова Наталья Николаевна и др.
  • 2013 год