1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал «Измерительная техника»
  5. Выпуск 2012 г. № 5
Измерение линейныхразмеров элементовнанорельефа страпецеидальнымпрофилем сеченияметодом дефокусировкиэлектронного пучкарастровогоэлектронногомикроскопа Гавриленко В. П.Кузин А. Ю.Ларионов Ю. В.2012 год

Измерение линейных размеров элементов нанорельефа с трапецеидальным профилем сечения методом дефокусировки электронного пучка растрового электронного микроскопа
статья из журнала

Заказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ (И 37)
Библиографическое описание: Измерение линейных размеров элементов нанорельефа с трапецеидальным профилем сечения методом дефокусировки электронного пучка растрового электронного микроскопа / В. П. Гавриленко [и др.]. - (Нанометрология). - Текст : непосредственный // Измерительная техника. - 2012. - № 5. - С. 19-21. - ISSN 0368-1025.
Аннотация: Экспериментально показана возможность применения способа измерений геометрических размеров элементов нанорельефа, основанного на дефокусировке электронного пучка растрового электронного микроскопа, к измерению верхнего основания трапецеидального выступа с шириной, близкой к диаметру пучка.
Год издания: 2012
Авторы: Гавриленко В. П. , Кузин А. Ю. , Ларионов Ю. В. , Митюхляев В. Б. , Раков А. В. , Тодуа П. А. , Филиппов М. Н.
Источник: Измерительная техника
Выпуск: № 5
Номера страниц: 19-21
Количество экземпляров:
  • Абонемент научной литературы (пр. Свободный, 79, Б1-14): свободно 1 из 1 экземпляров

Похожие публикации

Измерение распределения плотности тока электронного пучка электронно-лучевой сварки по его… : статья из журнала

  • Семенов Ю. И. и др.
  • 2023 год
Искажение профилярельефных элементовна поверхностимонокристаллическогокремния в результатеих контаминации в… Гавриленко В. П.Кузин А. Ю.Митюхляев В. Б.2013 год

Искажение профиля рельефных элементов на поверхности монокристаллического кремния в результате их… : статья из журнала

  • Гавриленко В. П. и др.
  • 2013 год

Regularities of Formation of the Ordered Structures in Molybdenum at Ion Implantation : статья из журнала

  • Kazdaev Khamza и др.
  • 2012 год

Control of the Shape of Semiconductor Crystals when Growing in Czochralski Method : статья из журнала

  • Sahanskiy Sergey P.
  • 2014 год
Модуляционныйинтерференционныймикроскоп каксредство измерениялинейных размеровнаноструктур Григорьев С. Н.Андреев А. Г.Ромаш В. Е.2012 год

Модуляционный интерференционный микроскоп как средство измерения линейных размеров наноструктур : статья из журнала

  • Григорьев С. Н. и др.
  • 2012 год
Эллипсометрическийспособ оценкинеоднородноститолщинытонкопленочныхпокрытий Батурин А. С.Бормашов В. С.Гавриленко В. П.2013 год

Эллипсометрический способ оценки неоднородности толщины тонкопленочных покрытий : статья из журнала

  • Батурин А. С. и др.
  • 2013 год
Возможностиобеспеченияправильностирезультатов измеренийповерхностной энергиитвердых тел Шаевич Р. Б.2014 год

Возможности обеспечения правильности результатов измерений поверхностной энергии твердых тел : статья из журнала

  • Шаевич Р. Б.
  • 2014 год
Нейтронныйдифрактометр дляопределенияструктурныххарактеристикмонокристаллов Кодесс Б. Н.Сарин В. А.2014 год

Нейтронный дифрактометр для определения структурных характеристик монокристаллов : статья из журнала

  • Кодесс Б. Н. и др.
  • 2014 год

Показать ещё

Nanodispersed Powders of Fe-Ni Particles with Carbon Shell : статья из журнала

  • Churilov Grigory и др.
  • 2017 год
Экспресс-методикаизмерения параметровтехнологическихэлектронных пучков Щербаков А. В.Гончаров А. Л.Кожеченко А. С.2016 год

Экспресс-методика измерения параметров технологических электронных пучков : статья из журнала

  • Щербаков А. В. и др.
  • 2016 год

Компактный источник электронного пучка для установок электронно-лучевой сварки с трансформаторной… : статья из журнала

  • Семенов Ю. И. и др.
  • 2024 год

Теплоемкость, теплопроводность и термическое расширение монокристаллов Bi12SiO20 : статья из журнала

  • Денисова Л. Т. и др.
  • 2010 год
Способ оценкистабильностимасштабногокоэффициентапросвечивающегоэлектронногомикроскопа Заблоцкий А. В.Авилов А. С.Бодунов Д. С.2013 год

Способ оценки стабильности масштабного коэффициента просвечивающего электронного микроскопа : статья из журнала

  • Заблоцкий А. В. и др.
  • 2013 год
Изучениеповерхностныхэлектронных состоянийв полупроводникахпосредством холоднойэмиссии в сканирующихтуннельных… Мандель А. М.Лоскутов А. И.Ошурко В. Б.2013 год

Изучение поверхностных электронных состояний в полупроводниках посредством холодной эмиссии в… : статья из журнала

  • Мандель А. М. и др.
  • 2013 год
Стандартные образцынаночастиц Au и ZnOдля калибровкималоугловыхрентгеновскихдифрактометров Запорожец М. А.Волков В. В.Сульянов С. Н.2013 год

Стандартные образцы наночастиц Au и ZnO для калибровки малоугловых рентгеновских дифрактометров : статья из журнала

  • Запорожец М. А. и др.
  • 2013 год
Созданиеантибактериальнойповерхностичастичкаминаносеребра наимплантатах сбиоактивным покрытием Кистерская Л. Д.Логинова О. Б.Ульянчич Н. В.2019 год

Создание антибактериальной поверхности частичками наносеребра на имплантатах с биоактивным покрытием : статья из журнала

  • Кистерская Л. Д. и др.
  • 2019 год