1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал «Измерительная техника»
  5. Выпуск 2012 г. № 5
Измерение линейныхразмеров элементовнанорельефа страпецеидальнымпрофилем сеченияметодом дефокусировкиэлектронного пучкарастровогоэлектронногомикроскопа Гавриленко В. П.Кузин А. Ю.Ларионов Ю. В.2012 год

Измерение линейных размеров элементов нанорельефа с трапецеидальным профилем сечения методом дефокусировки электронного пучка растрового электронного микроскопа
статья из журнала

Заказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ (И 37)
Библиографическое описание: Измерение линейных размеров элементов нанорельефа с трапецеидальным профилем сечения методом дефокусировки электронного пучка растрового электронного микроскопа / В. П. Гавриленко [и др.]. - (Нанометрология). - Текст : непосредственный // Измерительная техника. - 2012. - № 5. - С. 19-21. - ISSN 0368-1025.
Аннотация: Экспериментально показана возможность применения способа измерений геометрических размеров элементов нанорельефа, основанного на дефокусировке электронного пучка растрового электронного микроскопа, к измерению верхнего основания трапецеидального выступа с шириной, близкой к диаметру пучка.
Год издания: 2012
Авторы: Гавриленко В. П. , Кузин А. Ю. , Ларионов Ю. В. , Митюхляев В. Б. , Раков А. В. , Тодуа П. А. , Филиппов М. Н.
Источник: Измерительная техника
Выпуск: № 5
Номера страниц: 19-21
Количество экземпляров:
  • Книгохранилище научной литературы (пр. Свободный, 79, 3 этаж): свободно 1 из 1 экземпляров