Библиографическое описание:Золотаревский, Ю. М. Интерференционные измерения в нанотехнологиях / Ю. М. Золотаревский, Г. Г. Левин. - (Нанометрология). - Текст : непосредственный // Измерительная техника. - 2012. - № 7. - С. 24-26. - ISSN 0368-1025.
Аннотация:Показана перспективность интерференционных измерений для анализа нанотехнологических изделий и процессов, обусловленная достижениями, полученными при разработке методов и средств измерений параметров волновых фронтов. Высокая степень автоматизации, развитие новых методов обработки и интерпретации интерферограмм позволили достичь аксиальной разрешающей способности до одного ангстрема практически в реальном времени.
