Библиографическое описание:Зависимость эффективности альтернативного жидкофазного силицирования УУКМ от давления в реакторе / В. М. Бушуев [и др.]. - Текст : непосредственный // Известия вузов. Химия и химическая технология. - 2012. - Т. 55, вып. 6. - С. 67-70 : 2 табл. - Библиогр.: с. 70 (5 назв.). - ISSN 0579-2991.
Аннотация:Изучено жидкофазное силицирование при нагреве нитрида кремния. Получены гладкие карбидокремниевые покрытия на тонкостенных деталях из углерод-карбидокремниевого материала. В крупногабаритном реакторе условия квазизамкнутости не реализуются и качество карбидных покрытий ухудшается.