Библиографическое описание:Васильев, В. А. Оборудование и технология для получения в вакууме ультратонких алюминиевых фольг, полосчатых и дискретных покрытий на металлических лентах / Васильев В. А, Манякин С. М. - (Наука. Техника. Производство). - Текст : непосредственный // Металлург. - 2012. - № 5. - С. 90-93 : 7 рис. - Библиогр.: с. 93 (10 назв. ). - ISSN 0026-0827.
Аннотация:Приведены результаты разработки и освоения оборудования и технологии для получения в вакууме полосчатых покрытий из драгоценных металлов на лентах из железоникелевых и других сплавов для производства различных корпусов рамок интегральных микросхем. Кроме того, приведены результаты разработки оборудования для получения ультратонких (1-3 мкм) алюминиевых фольг и их использования в промышленности.
