Библиографическое описание:Вакуумно-дуговые многослойные наноструктурные tin/ti покрытия: структура, напряженное состояние, свойства / О. В. Соболь [и др. ]. - (Инженерия поверхности). - Текст : непосредственный // Металловедение и термическая обработка металлов. - 2012. - № 1. - С. 28-33. - ISSN 0026-0819.
Аннотация:Изучено влияние условий получения вакуумно-дуговых многослойных TiN/Ti покрытий на их фазовый состав, структуру, напряженное состояние и механические свойства. Установлены закономерности изменения фазового состава, структурно-напряженного состояния, твердости от величины отрицательного потенциала, подаваемого на подложку во время осаждения, и от толщины слоев Ti и TiN в многослойном покрытии. Проведен анализ причин наблюдаемых изменений с использованием механизма формирования поверхностных слоев вакуумно-дуговых покрытий в условиях имплантационных процессов, стимулированных подачей отрицательного потенциала на подложку.
