Библиографическое описание:Белозубова, Н. Е. Уменьшение погрешностей от нестационарности температур в нано- и микроэлектромеханических системах датчиков давления / Н. Е. Белозубова. - (Механические измерения). - Текст : непосредственный // Измерительная техника. - 2012. - № 7. - С. 42-45. - ISSN 0368-1025.
Аннотация:Рассмотрено воздействие симметричного и асимметричного относительно оси упругого элемента нано- и микроэлектромеханической системы нестационарного температурного поля. Получено соотношение для размеров элементов конструкции, которое характеризует условие минимизации асимметрии теплового потока на мембране этой системы, вызванного нестационарностью температуры и повышенными виброускорениями.
