Библиографическое описание:Бабашов, В. Г. Получение нитевидных кристаллов нитрида титана из газовой фазы / В. Г. Бабашов, Н. М. Варрик, Т. А. Карасева. - Текст : непосредственный // Стекло и керамика. - 2021. - № 8. - С. 12-21 : 9 рис. - Библиогр.: с. 21 (16 назв.). - ISSN 0131-9582.
Аннотация:Приведены результаты работы по получению нитевидных кристаллов нитрида титана из газовой фазы. Ранее была проведена теоретическая оценка возможности гомогенного образования микроподложек различного вида и состава в газовой фазе, условий конденсации фазы нитрида титана и роста нитевидных кристаллов. На основании результатов термодинамического анализа исследуемой системы были проведены расчеты действующих критических пересыщений и оценены скорости гомогенной конденсации в газовой фазе титана и натрия титана. Термодинамические расчеты составов подсистем Ti-Cl-H, Ti-Cl-N, Ti-Cl-Ar определили конструктивные элементы лабораторной установки и технологические особенности процесса выращивания кристаллов нитрида титана. Были получены и исследованы образцы нитевидных кристаллов нитрида титана.
