1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал «Метрология»
  5. Выпуск 2013 г. № 8
Анализ методовсверхразрешения воптическойинтерференционноймикроскопии Булыгин Ф. В.Золотаревский С. Ю.Кононогов С. А.2013 год

Анализ методов сверхразрешения в оптической интерференционной микроскопии
статья из журнала

Заказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ (А 64)
Библиографическое описание: Анализ методов сверхразрешения в оптической интерференционной микроскопии / Ф. В. Булыгин [и др.]. - (Нанометрология). - Текст : непосредственный // Метрология. - 2013. - № 8. - С. 21-30. - Библиогр.: с. 30 (11 назв.). - ISSN 0132-4713.
Аннотация: Рассмотрены методы сверхразрешения при измерении параметров рельефа и структуры поверхности в нанометровом диапазоне.
Год издания: 2013
Авторы: Булыгин Ф. В. , Золотаревский С. Ю. , Кононогов С. А. , Илюшин Я. А. , Левин Г. Г. , Лясковский В. Л.
Источник: Метрология
Выпуск: № 8
Номера страниц: 21-30
Количество экземпляров:
  • Читальный зал (пер. Вузовский, 6Д): свободно 1 из 1 экземпляров