Библиографическое описание:Анализ неопределенностей, обусловленных методическими и инструментальными погрешностями интерферометрии параметров рельефа и формы поверхности / Д. А. Новиков [и др.]. - (Нанометрология). - Текст : непосредственный // Метрология. - 2013. - № 8. - С. 31-37. - Библиогр.: с. 37 (8 назв.). - ISSN 0132-4713.
Аннотация:Представлены виды и причины аппаратных, методических и обусловленных внешними факторами погрешностей измерения при 3D-интерферометрии с опорным волновым фронтом и интерферометрии бокового сдвига.
