1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск

Микро- и нанотехнологии пленочных гетерокомпозиций : курс лекций

Полный текст
Доступ к полному тексту через электронную библиотечную систему «Лань».
База данных: Каталог библиотеки СФУ
Библиографическое описание: Кузнецов, Г. Д. Микро- и нанотехнологии пленочных гетерокомпозиций : курс лекций / Г. Д. Кузнецов, С. Б. Симакин, Д. Н. Демченкова. - Москва : МИСИС, 2008. - 191 с. - . Книга из коллекции МИСИС - Инженерно-технические науки
Аннотация: В курсе лекций рассматриваются принципы построения, организации и функционирования наноразмерных гетерокомпозиций, физико-химические основы метода Ленгмюра – Блоджетт, ионно-плазменного получения пленок аморфного гидрогенизированного кремния, проблемы деградации параметров пленочных структур. Анализируются эффекты размерного квантования в полупроводниковых наноструктурах, закономерности ионно-плазменного получения пленок нитридов металлов и карбида кремния, а также формирования топологии микросхем с применением неразрушающих методов контроля. Обсуждаются и анализируются особенности технологии молекулярно-пучковой и МОС-гидридной эпитаксии полупроводниковых соединений. Излагаются основы синтеза сверхрешеток алмазоподобных широкозонных материалов и структурно-ориентационного изоморфизма. Приводятся примеры создания микро- и наноразмерных приборов микросистемной техники с использованием ионных процессов. Содержание курса лекций соответствует программе. Предназначен для студентов (бакалавров и магистров), обучающихся по направлениям 210100 «Электроника и микроэлектроника», 210600 «Нанотехнология», 210601 «Нанотехнология в электронике» и по специальности 210602 «Наноматериалы»
Год издания: 2008
Авторы: Кузнецов Г. Д., Симакин С. Б., Демченкова Д. Н.
Издательство: МИСИС, Москва
Количество страниц: 191
Количество экземпляров:
Издание имеется только в электронном виде

Цифровые и тематические книжные коллекции издания

Похожие документы

Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур: моделирование наносистем методами молекулярной динамики

  • Юрчук С. Ю.
  • 2013 год

Микросхемотехника

  • Мурашев В. Н. и др.
  • 2011 год

Полупроводниковые оптоэлектронные приборы

  • Юрчук С. Ю. и др.
  • 2004 год

Вакуумная и плазменная электроника

  • Курочка С. П. и др.
  • 2009 год

Материалы и элементы электронной техники

  • Крутогин Д. Г.
  • 2006 год

Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур: математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами

  • Юрчук С. Ю.
  • 2013 год

Экология производства материалов и компонентов электронной техники

  • Крапухин В. В. и др.
  • 2004 год

Проектирование и технология электронной компонентной базы: полупроводниковые приемники излучений

  • Леготин С. А. и др.
  • 2018 год

Радиационные эффекты в кремниевых интегральных схемах космического применения: основы радиационной стойкости изделий электронной техники

  • Таперо К. И.
  • 2011 год

История и методология науки и техники в области электроники и нанотехнологии

  • Крутогин Д. Г.
  • 2015 год

Биотехнология металлов

  • Адамов Э. В. и др.
  • 2008 год

Материаловедение

  • Портной В. К.
  • 2007 год