1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск

Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники : Учебное пособие

Полный текст на внешнем сайте
Доступ к полному тексту через электронную библиотечную систему «Znanium».
База данных: Каталог библиотеки СФУ (24.57я73)
Библиографическое описание: Гаврилов, А. С. Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники : учебное пособие / А.С. Гаврилов. - 2. - Москва : Издательский Центр РИОР, 2019. - 240 с. - ISBN 978-5-369-01299-4. - ISBN 978-5-16-100019-9. - ISBN 978-5-16-009298-0 : Б. ц. - Текст : непосредственный.
Аннотация: Книга посвящена научно-технологическим основам электрохимических процессов, применяемых в технологии микро- и наноструктур, которые интенсивно развиваются в последнее время. В пособии приведены краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики, рассмотрены механизмы формирования твердотельных микро- и наноструктур, особенности получения и применения пористого кремния, описаны электрохимические процессы в технологии МЭМС, процессы формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применение в микро- и нанотехнологии, процессы анодного окисления с помощью сканирующего зондового микроскопа, катодного осаждения металлов и полупроводников, их применение в технологии УБИС, МЭМС и нанотехнологии. Предназначено для студентов, аспирантов, научных работников и инженеров.
Год издания: 2019
Авторы: Гаврилов А.С., Белов А.Н.
Издательство: Издательский Центр РИОР, Москва
Количество экземпляров:
Издание имеется только в электронном виде

Цифровые и тематические книжные коллекции издания

Похожие публикации

Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники

  • Васильев Владислав Юрьевич
  • 2019 год

Лазеры в микро- и наноэлектронике

  • Малюков Сергей Павлович и др.
  • 2018 год

Химико-технологические основы микро- и наноэлектроники

  • Величко Александр Андреевич и др.
  • 2023 год

Сенсорика. Современные технологии микро- и наноэлектроники

  • Патрушева Тамара Николаевна
  • 2025 год

Электронная аппаратура. Основные материалы и технологии микро- и наноэлектроники

  • Никифоров Игорь Кронидович
  • 2023 год

Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения

  • Светличный Александр Михайлович и др.
  • 2018 год

Плазменные процессы в наноэлектронике, микро- и наносистемной технике

  • Голишников А. А. и др.
  • 2022 год

Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники

  • Васильев В. Ю.
  • 2019 год

Показать ещё