Новые материалы наноматериаловедения. Осаждение пленок методом термовакуумной сублимации : учебно-методическое пособие для лабораторных работ [для студентов спец. 223200.68 «Техническая физика»]
Библиографическое описание:Новые материалы наноматериаловедения. Осаждение пленок методом термовакуумной сублимации : учебно-методическое пособие для лабораторных работ [для студентов спец. 223200.68 «Техническая физика»] / Сиб. федер. ун-т, Ин-т инженер. физики и радиоэлектроники ; сост.: Г. Н. Чурилов, А. И. Дудник. - Электрон. текстовые дан. (PDF, 644 Кб). - Красноярск : СФУ, 2013. - Загл. с титул. экрана. - Библиогр.: с. 25. - Изд. № 2013-3989. - Текст : электронный.
Аннотация:В учебно-методическом пособии описаны краткие теоретические сведения по способам получения и измерения вакуума, способам осаждения пленок. В лабораторной работе изучается метод термовакуумной сублимации на примере осаждения тонкой композитной пленки фуллерит-бор на модернизированной установке ВУП-5. Предназначено для студентов специальности 223200.68 «Техническая физика».
Ключевые слова:материаловедение, методы получения тонких пленок, получение кристаллических пленок фуллерита, Начальные стадии образования фуллеритовой пленки, двухкомпонентные композитные плёнки, учебно-методические пособия
