Проектирование микросистем. Моделирование элементов микроэлектромеханических устройств : лаб. практикум для студентов напр. 210100.62 «Электроника и наноэлектроника»
учебно-методический материал (лабораторные работы)
Библиографическое описание:Проектирование микросистем. Моделирование элементов микроэлектромеханических устройств : лаб. практикум для студентов напр. 210100.62 «Электроника и наноэлектроника» / Сиб. федерал. ун-т ; сост.: А. А. Левицкий, А. А. Липунова. - Электрон. текстовые дан. (PDF, 1,5 Мб). - Красноярск : СФУ, 2012. - Загл. с титул. экрана. - Библиогр.: с. 43-44. - Текст : электронный.
Аннотация:В лабораторном практикуме приведены описания лабораторных работ по выполнению компьютерного моделирования элементов микроэлектромеханических устройств в программе MEMS Pro. Изложены краткие сведения о функциональных возможностях MEMS Pro, представлена методика выполнения лабораторных работ. Предназначено: по кодификатору ГОС ВПО-2 для специальности 210108.65 «Микросистемная техника» и направления подготовки бакалавров 210100.62 «Электроника и микроэлектроника»; по кодификатору ФГОС ВПО-3 для направления подготовки бакалавров 210100.62 «Электроника и наноэлектроника». Рекомендуется для всех специальностей и направлений укрупненных групп 210000 «Электронная техника, радиотехника и связь» и 200000 «Приборостроение и оптотехника».
