Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем : учеб. пособие для студентов вузов, обуч. по направлению 210100 "Электроника и микроэлектроника". Ч. 1. Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование
Библиографическое описание:Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем : учеб. пособие для студентов вузов, обуч. по направлению 210100 "Электроника и микроэлектроника": в 2-х т. / ред. Ю. А. Чаплыгин. - Москва : БИНОМ, Лаборатория знаний, 2010. - (Электроника). - ISBN 978-5-94774-583-2. - Текст : непосредственный. Ч. 1 : Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование / М. А. Королев, Т. Ю. Крупкина, М. А. Ревелева. - 2010. - 397 с. : ил. - На обложке указаны авт. первой части. - Библиогр.: с. 397 (14 назв.). - 1000 экз. - ISBN 978-5-94774-336-4 (Ч. 1) (в пер.) : 297.00 р.
Аннотация:Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано также специалистами, работающими в данной области.
