Библиографическое описание:Рощин, Владимир Михайлович. Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники : учебное пособие для студентов вузов: в 2-х ч. / В. М. Рощин, М. В. Силибин. - Москва : БИНОМ, Лаборатория знаний, 2010. - ISBN 978-5-94774-913-7. - Текст : непосредственный. Ч. 2. - 2010. - 180 с. : ил. - Библиогр.: с. 180. - 1000 экз. - ISBN 978-5-94774-910-6 (в пер.) : 220.00 р.
Аннотация:Учебное пособие посвящено технологии получения основных компонентов микро-, опто- и наноэлектроники: металлов, лигирующих элементов, диэлектрических материалов, углеродных материалов, металлоорганических соединений и вспомогательных материалов. Для студентов, обучающихся по направлению "Электроника и микроэлектроника". Полезно также специалистам, работающим в соответствующей области.
