Сенсорика. Современные технологии микро- и наноэлектроники : учеб. пособие для магистров и аспирантов вузов по курсу "Современные технологии микро- и наноэлектроники"
Библиографическое описание:Патрушева, Тамара Николаевна. Сенсорика. Современные технологии микро- и наноэлектроники : учеб. пособие для магистров и аспирантов вузов по курсу "Современные технологии микро- и наноэлектроники" / Т. Н. Патрушева ; Сиб. федер. ун-т, Ин-т инженер. физики и радиоэлектроники. - Красноярск : СФУ, 2013. - 260 с. : ил. - Библиогр.: с. 250-256. - 100 экз. - ISBN 978-5-7638-2491-9 : 310.00 р. - Изд. № 2013-5623. - Текст : непосредственный + Текст : электронный.
Аннотация:Раскрывается технологический аспект сенсорики, приводятся сведения о большом многообразии сенсоров. Отмечается важность нанотехнологического подхода к изготовлению сенсоров. Представлена информация о материалах химических сенсоров, их свойствах и принципах конструирования. Приведены примеры приборов, выпускаемых в настоящее время в промышленном масштабе. Описаны некоторые технологии изготовления эффективных наноразмерных сенсорных материалов, в том числе авторский метод приготовления оксидных (резистивных, пьезоэлектрических, магнитных) сенсорных материалов. Предназначено для студентов Института инженерной физики и радио- электроники СФУ, магистров и аспирантов, обучающихся по курсу «Современные технологии микро- и наноэлектроники», а также инженеров, специалистов и ученых, работающих в области технологии сенсоров.
