Библиографическое описание:Левицкий, Алексей Александрович. Приборно-технологическое моделирование устройств микро- и наноэлектроники. Математические модели и программные средства : учебное пособие / А. А. Левицкий, П. С. Маринушкин, С. И. Трегубов ; Сиб. федер. ун-т, Ин-т инж. физики и радиоэлектроники. - Красноярск : СФУ, 2020 (2020-10-09). - 66 с., 4.3 усл. печ. л. : цв.ил. - Библиогр.: с. 61-65. - 100 экз. - ISBN 978-5-7638-4263-0 : 156.00 р. - Изд. № 2019-10420
Аннотация:Рассмотрены математические модели, которые описывают приборные полупроводниковые структуры, технологические процессы их создания и программные средства, обеспечивающие приборно-технологическое моделирование. Предназначено для магистрантов направления подготовки 110404 «Электроника и наноэлектроника». Может быть рекомендовано студентам всех специальностей и направлений укрупненной группы 110000 «Электроника, радиотехника и системы связи».
