Библиографическое описание:Аппараты полупроводникового производства : методические указания к практическим работам / Сибирский федеральный университет [СФУ] ; сост.: Е. Д. Кравцова, Э. М. Никифорова. - Красноярск : Сибирский федеральный университет [СФУ], 2010. - 36 с. : граф. - Библиогр. список: с.35. - 28.50 р. - Текст : непосредственный + Текст : электронный.
Аннотация:Представлены методики расчета конструктивных параметров и технологических режимов работы оборудования, используемого в технологических процессах получения полупроводниковых материалов. Для студентов специальности 150108.65 «Порошковая металлургия, композиционные материалы, покрытия».