Интегральные устройства радиоэлектроники. Технология микросхем и микропроцессоров : лаб. практикум [для студентов напр. подг. 210100.68 «Электроника и наноэлектроника» и 211000.68 «Конструирование и технология электронных средств»]
учебно-методический материал (лабораторные работы)
Библиографическое описание:Интегральные устройства радиоэлектроники. Технология микросхем и микропроцессоров : лаб. практикум [для студентов напр. подг. 210100.68 «Электроника и наноэлектроника» и 211000.68 «Конструирование и технология электронных средств»] / Сиб. федерал. ун-т ; сост. О. В. Семенова. - Электрон. текстовые дан. (PDF, 1,9 Мб). - Красноярск : СФУ, 2013. - (Магистратура). - Загл. с титул. экрана. - Библиогр.: с.97. - Изд. № 2013-299. - Текст : электронный.
Аннотация:Рассмотрены общие вопросы технологии изготовления интегральных устройств радиоэлектроники на примере интегральных микросхем (ИМС). Изложены основные технологические операции: получение и измерение параметров вакуума; процессы получения тонких пленок; фотолитографические процессы в технологии интегральных микросхем; технологии разделения пластин на кристаллы и создания соединений ИМС. Большое внимание уделено формированию тонкопленочных элементов, разработке топологии, оформлению конструкторско-технологической документации по изготовлению гибридноинтегральных микросхем. Представленный материал может быть использован для проведения лабораторных и практических занятий, а также в самостоятельной работе студентов для курсового проектирования по дисциплинам «Проектирование и технология электронной компонентной базы», «Интегральные устройства радиоэлектроники», «Технология микросхем и микро- процессоров», «Проектирование элементов микросхем», «Проектирование интегральных микросхем и микропроцессоров». Предназначен по кодификатору ГОС ВПО-2 для направлений подготовки бакалавров, специалистов и магистров 210200 «Проектирование и технология электронных средств» и 210100 «Электроника и микроэлектроника; по кодификатору ФГОС ВПО-3 для направлений подготовки бакалавров 210100 «Электроника и наноэлектроника» и 211000 «Конструирование и технология электронных средств». Рекомендуется для всех специальностей и направлений укрупненных групп 210000 «Электронная техника, радиотехника и связь» и 200000 «Приборостроение и оптотехника».
