Интегральные устройства радиоэлектроники. Технология микросхем и микропроцессоров : лаб. практикум [для студентов напр. подг. 210100.68 «Электроника и наноэлектроника» и 211000.68 «Конструирование и технология электронных средств»]учебно-методический материал (лабораторные работы)
База данных: Каталог библиотеки СФУ (621.3 И 730)
Библиографическое описание: Интегральные устройства радиоэлектроники. Технология микросхем и микропроцессоров : лаб. практикум [для студентов напр. подг. 210100.68 «Электроника и наноэлектроника» и 211000.68 «Конструирование и технология электронных средств»] / Сиб. федерал. ун-т ; сост. О. В. Семенова. - Электрон. текстовые дан. (PDF, 1,9 Мб). - Красноярск : СФУ, 2013. - (Магистратура). - Загл. с титул. экрана. - Библиогр.: с.97. - Изд. № 2013-299. - Текст : электронный.
Аннотация: Рассмотрены общие вопросы технологии изготовления интегральных устройств радиоэлектроники на примере интегральных микросхем (ИМС). Изложены основные технологические операции: получение и измерение параметров вакуума; процессы получения тонких пленок; фотолитографические процессы в технологии интегральных микросхем; технологии разделения пластин на кристаллы и создания соединений ИМС. Большое внимание уделено формированию тонкопленочных элементов, разработке топологии, оформлению конструкторско-технологической документации по изготовлению гибридноинтегральных микросхем. Представленный материал может быть использован для проведения лабораторных и практических занятий, а также в самостоятельной работе студентов для курсового проектирования по дисциплинам «Проектирование и технология электронной компонентной базы», «Интегральные устройства радиоэлектроники», «Технология микросхем и микро- процессоров», «Проектирование элементов микросхем», «Проектирование интегральных микросхем и микропроцессоров». Предназначен по кодификатору ГОС ВПО-2 для направлений подготовки бакалавров, специалистов и магистров 210200 «Проектирование и технология электронных средств» и 210100 «Электроника и микроэлектроника; по кодификатору ФГОС ВПО-3 для направлений подготовки бакалавров 210100 «Электроника и наноэлектроника» и 211000 «Конструирование и технология электронных средств». Рекомендуется для всех специальностей и направлений укрупненных групп 210000 «Электронная техника, радиотехника и связь» и 200000 «Приборостроение и оптотехника».
Год издания: 2013
Редакторы, составители и др.: Семенова Ольга Васильевна (составитель); Фенькова Нина Борисовна (составитель)
Авторский коллектив: Сибирский федеральный университет (Красноярск)
Издательство: Сибирский федеральный университет, Красноярск
Количество страниц: 113
Количество экземпляров:
Издание имеется только в электронном виде
Ключевые слова: напыление тонких пленок, фотолитографические процессы, конструкторско-технологическая документация, интегральные микросхемы, проектирование элементов микросхем, лабораторные практикумы, учебно-методические пособия
Рубрики: Микросхемы / Технология / Учебно-методические пособия
Классификационные коды: УДК 621.396.6(07), ББК 32.844я73, ГРНТИ 47.33.31
Идентификаторы: полочный индекс 621.3 И 730, шифр 621.3/И 730-974281
Статистика выдачи: | 2015 | 2016 | 2017 | 2018 | 2019 | 2020 | 2021 | 2022 | 2023 | Всего |
Всего: | 2 | 9 | 6 | 7 | 2 | 6 | 7 | 3 | 7 | 50 |
Твёрдых копий: | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
Электронных версий: | 2 | 9 | 6 | 7 | 2 | 6 | 7 | 3 | 7 | 50 |