Библиографическое описание:Гаврилов, Сергей Александрович. Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники : учеб. пособие для вузов / С. А. Гаврилов, А. Н. Белов. - Москва : Высшее образование, 2009. - 258 с. : ил. - (Высшее образование. Основы наук). - Библиогр.: с. 256-257. - 1000 экз. - ISBN 978-5-9692-0304-4 (в пер.) : 150.00 р. - Текст : непосредственный.
Аннотация:Изложены основы электрохимических процессов, применяемых в технологии микро- и наноструктур, которые интенсивно развиваются в последнее время. Пособие содержит краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики, описание механизмов формирования твердотельных микро- и наноструктур, сведения об особенностях получения и применения пористого кремния, описание электрохимических процессов в технологии МЭМС, процессов формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применения в микро- и нанотехнологии, процессов анодного окисления с помощью сканирующего зондового микроскопа, катодного осаждения металлов и полупроводников, их применения в технологии УБИС, МЭМС и нанотехнологии.
