Испытание и диагностика материалов и структур микро- и наноэлектроники. Введение в электронную микроскопию : учеб.-метод. пособие [для студентов напр. подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника»]
учебно-методический материал (практические работы)
Библиографическое описание:Испытание и диагностика материалов и структур микро- и наноэлектроники. Введение в электронную микроскопию : учеб.-метод. пособие [для студентов напр. подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника»] / Сиб. федер. ун-т, Ин-т инж. физики и радиоэлектроники ; сост. А. П. Гардымова. - Электрон. текст. данные (PDF, 674 Мб). - Красноярск : СФУ, 2015. - Загл. с титул. экрана. - Библиогр.: с. 18. - Изд. № 2015-1782. - Текст : электронный.
Аннотация:Содержит теоретические сведения о методах исследования материалов и структур микро- и наноэлектроники по средствам электронной микроскопии. Предназначено для студентов очной формы обучения направления подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».
