Испытание и диагностика материалов и структур микро- и наноэлектроники : учеб.-метод. пособие для самостоят. работы [для студентов напр. подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника»]
учебно-методический материал (самостоятельная работа)
Библиографическое описание:Испытание и диагностика материалов и структур микро- и наноэлектроники : учеб.-метод. пособие для самостоят. работы [для студентов напр. подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника»] / Сиб. федер. ун-т, Ин-т инж. физики и радиоэлектроники ; сост. А. П. Гардымова. - Электрон. текст. данные (PDF, 470 Кб). - Красноярск : СФУ, 2015. - Загл. с титул. экрана. - Библиогр.: с. 16. - Изд. № 2015-1783. - Текст : электронный.
Аннотация:Содержит сведения, необходимые студентам для выполнения самостоятельной работы при изучении теоретического курса и подготовке к практическим занятиям. Предназначено для студентов очной формы обучения направления подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».
Ключевые слова:физика, физические основы электроники, наноэлектроника, исследование материалов, электронная микроскопия, самостоятельные работы, учебно-методические пособия
