Библиографическое описание:Исследование неоднородностей магнитных характеристик тонких пленок, полученных технологией магнетронного напыления : научное издание / Б. А. Беляев, Н. М. Боев, А. В. Изотов [и др.]. - Текст : непосредственный // Известия вузов. Физика. - 2026. - Т. 69, № 4. - С. 82-92. - Работа выполнена в рамках научной тематики Госзадания Института физики им. Л.В. Киренского ФИЦ КНЦ СО РАН. - ISSN 0021-3411, DOI 10.17223/00213411/69/4/9.
Аннотация:Разработана магнитная система Хальбаха, создающая однородное поле в плоскости тонких магнитных пленок (ТМП) при их изготовлении по технологии магнетронного напыления. Магнитное поле системы превышает по величине градиентное поле магнетрона примерно в 60 раз на площади 60´48 мм<sup>2</sup>. Это позволяет существенно уменьшить неоднородности распределения магнитных характеристик ТМП по площади образцов. Система сконструирована на основе четырех магнитных линеек, каждая из которых состоит из 8 кобальт-самариевых магнитов размерами 10×10×10 мм. Факт уменьшения неоднородностей распределений магнитных характеристик по площади ТМП подтвержден измерениями на сканирующем спектрометре ферромагнитного резонанса 12 образцов толщиной ~ 55 нм, полученных одновременно распылением мишени состава Ni<sub>80</sub>Fe<sub>20</sub> на подложки из кварцевого стекла размерами 12´12´0.5 мм.
A Halbach magnetic system has been developed that generates a uniform field in the plane of thin magnetic films (TMF) produced using magnetron sputtering technology. The system’s magnetic field is approximately 60 times greater than the gradient field of a magnetron over an area of 60×48 mm<sup>2</sup>. This significantly reduces the non-uniformity of the TMF magnetic characteristic distribution over the sample area. The system is constructed using four magnetic bars, each composed of eight cobalt-samarium magnets measuring 10×10×10 mm. The reduction in non-uniformity of the magnetic characteristic distribution over the TMF area was confirmed by measurements using a scanning ferromagnetic resonance spectrometer on 12 samples, each ~ 55 nm thick, obtained by simultaneously sputtering a Ni<sub>80</sub>Fe<sub>20</sub> target onto 12×12×0.5 mm quartz glass substrates.
Издательство:Национальный исследовательский Томский государственный университет, Томск
Источник:Известия вузов. Физика
Выпуск:Т. 69, № 4
Номера страниц:82-92
Держатель оригинала документа:Институт физики им. Л.В. Киренского ФИЦ КНЦ СО РАН, Сибирский государственный университет науки и технологий им. акад. М.Ф. Решетнева, Сибирский федеральный университет
Количество экземпляров:
Твёрдая копия издания отсутствует в фонде библиотеки
