Разработка инновационной технологии производства сорбционно-емкостных сенсоров влажности газа на основе тонких плёнок, полученных микродуговым оксидированием, электрохимическим анодированием и магнетронным напылением : доклад, тезисы доклада
доклад, тезисы доклада, статья из сборника материалов конференций
Библиографическое описание:Разработка инновационной технологии производства сорбционно-емкостных сенсоров влажности газа на основе тонких плёнок, полученных микродуговым оксидированием, электрохимическим анодированием и магнетронным напылением : доклад, тезисы доклада / С. О. Михин, Д. Н. Егоров. - [Б. м. : б. и.], 2025. - Текст : непосредственный // Нефть и газ - 2025 : Тезисы докладов 79-ой Международной молодежной научной конференции. - Москва, 2025. - С. 410-411. - ISBN 9785919615903.
Аннотация:В работе представлен процесс создания и апробирования технологических линий микродугового оксидирования и электрохимического анодирования позволяющих изготавливать влагочувствительный слой микронной и нанометрической толщины сенсоров влажности газовых сред из оксида алюминия бездефектной конструкции. Реализовано нанесение влагопроницаемого электрода микронной и нанометрической толщины сенсоров влажности по технологии магнетронного напыления титана и нитрида титана в вакууме. Сенсоры влажности обладают мгновенным откликом, низким гистерезисом и широким диапазоном электрической ёмкости.
The paper presents the process of creating and testing technological lines for microarc oxidation and electrochemical anodizing, which make it possible to produce a moisture-sensitive layer of micron and nanometric thickness of gas humidity sensors made of aluminum oxide of a defect-free design. The application of a moisture-permeable electrode of micron and nanometric thickness of humidity sensors using the technology of magnetron sputtering of titanium and titanium nitride in vacuum is realized. Humidity sensors have an instant response, low hysteresis and a wide range of electrical capacitance.
