Библиографическое описание:Фотолюминесценция структур на пористом кремнии с оксидом цинка, полученного с помощью растворной технологии : научное издание / О. В. Семенова [и др.]. - Текст : непосредственный // Химическая технология. - 2025. - Т. 26, № 3. - С. 86-92. - Авторы заявляют об отсутствии конфликта интересов. - ISSN 1684-5811, DOI 10.31044/1684-5811-2025-26-3-86-92.
Аннотация:Данная работа посвящена исследованию фотолюминесценции структур на пористом кремнии (ПК) с оксидом цинка. Образцы пористого кремния получены по технологии электрохимического анодирования (травления) в растворе плавиковой кислоты из пластин монокристаллического кремния. Внедрение в поры оксида цинка осуществлено с помощью экстракционно-пиролитического метода. Экспериментально наблюдается усиление фотолюминесценции в видимой области спектра образцов ПК с оксидом цинка, а также различия в спектрах фотолюминесценции образцов, полученных при различных режимах отжига. Результаты работы показывают, что возможно получить и усилить фотолюминесценцию в видимой области спектра при внедрении оксида цинка в ПК с помощью растворной технологии при отжиге в атмосферных условиях. Варьирование температуры и времени отжига гетероструктуры ПК-ZnO приводит к появлению фотолюминесценции в ультрафиолетовой, синей и зеленой областях спектра.
The study of photoluminescence of structures on porous silicon (PS) with zinc oxide is discussed. Porous silicon specimens were obtained by the electrochemical anodizing (etching) technology in a hydrofluoric acid solution from single-crystal silicon wafers. The introduction of zinc oxide into the pores was carried out, using the extraction-pyrolytic method. Experimentally, an increase in photoluminescence in the visible spectral region of PS specimens with zinc oxide, as well as differences in the photoluminescence spectra of specimens obtained under various annealing modes is observed. The results of the work show that it is possible to obtain and enhance photoluminescence in the visible region of the spectrum when zinc oxide is introduced into PS, using the solution technology during annealing under atmospheric conditions. Varying the temperature and annealing time of the PS-ZnO heterostructure leads to photoluminescence in the ultraviolet, blue, and green regions of the spectrum.
Ключевые слова:porous structures on silicon with zinc oxide, electrochemical anodizing, extraction-pyrolytic method, electrochemical cell, photoluminescence of structures on porous silicon, photoluminescence spectra of porous silicon with zinc oxide in visible region of spectrum, пористые структуры на кремнии с оксидом цинка, электрохимическое анодирование, экстракционно-пиролитический метод, электрохимическая ячейка, фотолюминесценция структур на пористом кремнии с оксидом цинка, спектры фотолюминесценции пористого кремния с оксидом цинка в видимой области спектра
