Библиографическое описание:IMPLEMENTATION OF MAGNETRON SPUTTERING METHOD IN OBTAINING A RADIO-ABSORBING THIN FILM BASED ON CoC : научное издание / N. V. Prokhorenkova [et al.]. - Текст : непосредственный // Вестник НЯЦ РК. - 2024. - №2. - P. 91-98. - This research was funded by the Science Committee of the Ministry of Science and Higher Education of the Republic of Kazakhstan, grant number АР19680101. - ISSN 1729-7516. - ISSN 1729-7885, DOI 10.52676/1729-7885-2024-2-91-98.
Аннотация:This paper describes the main results of the study of obtaining samples of radio-absorbing CoC films by magnetron sputtering and evaluates the data of experimental and computational studies on the relationship between the structure and properties of CoC films. To eliminate the ferromagnetic effect of cobalt, a composite target was used. The use of the composite target during magnetron sputtering ensures the production of films of a given and necessary composition. Structural-phase state of the obtained films was studied using XRD, SEM and TEM methods. A distinctive feature of the synthesized coating is the absence of a crystalline structure in some areas due to the amorphizing properties of cobalt and its tendency to form metallic glasses. Results obtained by the experiments are in good agreement with computational modeling results. The radio-absorbing properties of the obtained films were confirmed by the results of measuring the reflection loss, standing wave ratio, reflectance, and impedance. Results presented in the article can serve as a baseline for perspective studies in this field.
Мақалада магнетронды бүрку арқылы алынған радиожұтқыш CoC қабықшаларының үлгілерін зерттеудің негізгі нәтижелері сипатталған және CoC қабықшаларының құрылымы мен қасиеттері арасындағы байланыстың тәжірибелік және есептеулік зерттеулерінің деректері бағаланады. Кобальттың ферромагниттік әсерін жою үшін композиттік нысана қолданылды. Магнетронды бүрку кезінде композиттік нысананы пайдалану берілген және қажетті құрамдағы қабықшалар алынуын қамтамасыз етеді. Алынған қабықшалардың құрылымдық-фазалық күйі РФТ, СЭМ және ТЭМ арқылы зерттелді. Синтезделген жабынның айрықша ерекшелігі кобальттың аморфизациялық қасиетіне және оның металл шынылар түзуге бейімділігіне байланысты кейбір аймақтарда кристалдық құрылымның болмауы болып табылады. Эксперимент барысында алынған нәтижелер компьютерлік модельдеу нәтижелерімен жақсы сәйкес келеді. Алынған пленкалардың радиожұтқыш қасиеттері шағылу жоғалтуларын, тұрақты толқындардың қатынасын, шағылу коэффициенттерін және кедергілерді өлшеу арқылы расталды. Мақалада келтірілген нәтижелер осы саладағы болашақ зерттеулерге негіз бола алады.
В работе описаны основные результаты исследования образцов радиопоглощающих пленок CoC, полученных методом магнетронного напыления, и дана оценка данных экспериментальных и расчетных исследований взаимосвязи между структурой и свойствами пленок CoC. Для устранения ферромагнитного эффекта кобальта использовалась составная мишень. Использование составной мишени при магнетронном напылении обеспечивает получение пленок заданного и необходимого состава. Структурно-фазовое состояние полученных пленок исследовали методами РФА, СЭМ и ПЭМ. Отличительной особенностью синтезированного покрытия является отсутствие кристаллической структуры на некоторых участках из-за аморфизирующих свойств кобальта и его склонности к образованию металлических стекол. Результаты, полученные в ходе экспериментов, хорошо согласуются с результатами компьютерного моделирования. Радиопоглощающие свойства полученных пленок были подтверждены результатами измерения потерь на отражение, коэффициента стоячей волны, коэффициентов отражения и импеданса. Результаты, представленные в статье, могут послужить основой для перспективных исследований в этой области.
Издательство:Национальный ядерный центр Республики Казахстан, Курчатов
Источник:Вестник НЯЦ РК
Выпуск:№2
Номера страниц:91-98
Держатель оригинала документа:Al-Farabi Kazakh National University, D. Serikbaev East Kazakhstan Technical University, National Science and Technology Center “Bakor”, S. Amanzholov East Kazakhstan University, Wroclaw University of Science and Technology
Количество экземпляров:
Твёрдая копия издания отсутствует в фонде библиотеки
