Комплекс методик анализа профильного распределения химического состава по глубине нанообъектов и тонких пленок методами оже-спектроскопии и времяпролетной вторично-ионной масс-спектрометрии : специальность  ""

Дронова Дарья Алексеевна

Дополнительные ссылки: eLibrary

База данных: Каталог библиотеки СФУ

Библиографическое описание: Комплекс методик анализа профильного распределения химического состава по глубине нанообъектов и тонких пленок методами оже-спектроскопии и времяпролетной вторично-ионной масс-спектрометрии : специальность "" : диссертация на соискание ученой степени кандидат технических наук / Д. А. Дронова ; ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ "МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ". - , 2023. - 130 с. - .

Аннотация: В настоящее время развитие нанотехнологий и высокие темпы внедрения наноматериалов в высокотехнологичные отрасли промышленности приводит к новым, более комплексным, требованиям анализа химического состава и структуры данных материалов, так как зачастую они имеют аморфную структуру, сложную геометрию, многокомпонентный состав и содержат примеси малых концентраций, влияющих на их свойства. Среди часто применяемых методов анализа химического состава, преимуществом времяпролетной вторично-ионной масс-спектрометрии (ВИМС) и Оже-спектроскопии является: глубина выхода, латеральное разрешение, возможность проводить анализ при малых энергиях, а также по глубине, благодаря наличию независимого травящего пучка. В ходе проведенных исследований по теме диссертационной работы были разработаны новые экспериментальные методики анализа профильного распределения химического состава по глубине сложных нанообъектов, в том числе аморфных и с малыми концентрациями легирующих примесей (менее 0,1 ат. %), основанные на комбинации методов времяпролетной вторично-ионной масс-спектрометрии и оже-спектроскопии, позволяющие существенно повысить точность проводимых измерений. Данные методики анализа профильного распределения химического состава по глубине имеют перспективность использования для контроля наличия и распределения ионных фрагментов примесей в тонких пленках, в том числе с использованием трехмерной реконструкции данных времяпролетной вторично-ионной масс-спектрометрии при разработке новых технологических процессов.

Год издания: 2023

Авторы: Дронова Дарья Алексеевна

Авторский коллектив: ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ "МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ"

Количество страниц: 130

Количество экземпляров:

Твёрдая копия издания отсутствует в фонде библиотеки

Показать дополнительные сведения

Пробоподготовка биологических тканей и клеток для их анализа методом времяпролетной вторично… : статья из журнала

Гулин А. А. и др.
2020 год

Новый подход к анализу фазового состава углеродсодержащих материалов методом времяпролетной… : статья из журнала

Дроздов М. Н. и др.
2019 год

Особенности анализа и контроля концентрационных неоднородностей сложно-модифицированных… : статья из журнала

Аникин А. А. и др.
2018 год

Обнаружение следовых количеств пероксидов и нитрата аммония в отпечатках пальца методом… : статья из журнала

Буряков Т. И. и др.
2024 год

Анализ углеродсодержащих материалов методом вторично-ионной масс-спектрометрии: содержание атомов… : статья из журнала

Дроздов М. Н. и др.
2020 год

Влияние комбинированной добавки KMnO[4] и NH[4]I на фоточувствительные свойства пленок PbS : статья из журнала

Маскаева Л. Н. и др.
2023 год

Тонкие пленки оксинитрида титана для сенсоров широкого диапазона температур : научное издание

Барон Ф.А. и др.
2022 год

Температура электронов в плазмохимических процессах синтеза микрочастиц оксида алюминия с… : статья из журнала

Вафин И. Ю. и др.
2025 год

Новые плазмонные материалы для светоиндуцированного расщепления воды на основе фотонных кристаллов,… : отчет о НИР

Пятнов Максим Владимирович
2022 год

Новые плазмонные материалы для светоиндуцированного расщепления воды на основе фотонных кристаллов… : описание проекта

2022 год

Исследование электрохимических свойств анода натрий-ионного аккумулятора на основе нанотрубчатого… : статья из журнала

Дронова Д. А. и др.
2023 год

Исследование зависимости структуры, состава и фотоэлектрохимических свойств нанотрубок анодного… : статья из журнала

Бутманов Д. Д. и др.
2025 год

СИНТЕЗ И ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ТОНКИХ НАНОКОМПОЗИТНЫХ ZnO/ОУНТ ПЛЕНОК : доклад, тезисы доклада

Тамбасов И. А. и др.
2020 год

Оптическая спектроскопия нанопористых мембран на основе анодного оксида алюминия в газовом потоке… : статья из журнала

Михайлов Илья Николаевич и др.
2023 год

Синтез и свойства ванадийоксидных нанопокрытий на поверхности поликристаллического альфа-Al[2]O[3] : статья из журнала

Захарова Наталия Владимировна и др.
2023 год

Библиотечно-издательский комплекс СФУ

Похожие публикации