Библиографическое описание:Новый подход к получению нерегулярных микросеток и формирование на их основе двухслойных экранирующих сэндвич структур : доклад, тезисы доклада / И. А. Дамарацкий, М. О. Макеев, П. А. Михалев [и др.]. - [Б. м. : б. и.], 2023. - Текст : непосредственный // Акустооптические и радиолокационные методы измерений и обработки информации : Труды XVI Международной научно-технической конференции. - Москва, 2023. - С. 443-446. - Работа выполнена при финансовой поддержке Министерства науки и высшего образования Российской Федерации в рамках научной тематики FWES-2021-0026 Госзадания ФИЦ КНЦ СО РАН и Госзадания № FSFN-2022-0007 (МГТУ им. Н.Э. Баумана). - ISBN 9785605113331, DOI 10.25210/armimp-2023-ZOZMSM.
Аннотация:Проблема напыления толстых металлических плёнок на шаблонные микро- и наноструктуры имеет ключевое значение для получения сетчатых прозрачных проводников с заданными оптоэлектрическими характеристиками. В работе мы приводим новый подход к манипуляциям с шаблонной структурой, полученной в результате самоорганизованного растрескивания тонкой плёнки яичного белка, позволяющий получать толстые нерегулярные микросетки (НМС) с отличными оптоэлектрическими характеристиками. Локальное отслоение периметра ячеек самоорганизованного шаблона позволяет увеличить толщину напыляемого металла, до 1 мкм и более, что не достижимо для других литографических подходов. На основе НМС были реализованы двухслойные сэндвич структуры, имитирующие реальное экранирующее окно, коэффициент экранирования которого достигает 71 дБ при величине оптического пропускания 80 %. За счёт нерегулярной структуры НМС, в двухслойных структурах отсутствует муаровый узор, характерный для регулярных металлических сеток.
The problem of deposition of thick metal films on templated micro and nanostructures is important for obtaining mesh transparent conductors with excellent optoelectric characteristics. In this paper, we present a new approach to the manipulation of a template structure obtained as a result of self-organized cracking of a thin egg white film, which makes it possible to obtain thick irregular microgrids (NMS) with excellent optoelectric characteristics. Local delamination of the cell perimeter of a self-organized template makes it possible to increase the thickness of the deposited metal, up to 1 µm or more, which is not achievable for other lithographic approaches. On the basis of the NMS, two-layer sandwich structures were implemented that imitate a real screening window, the screening coefficient of which reaches 71,01 dB at an optical transmission value of 80,02%. Due to the irregular structure of the NMS, the two-layer structures lack the moire pattern characteristic of regular metal meshes.
