Библиографическое описание:ВОЗМОЖНОСТЬ ЭЛЕКТРО-КОНТАКТНО-ХИМИЧЕСКОЙ РЕЗКИ ВИБРИРУЮЩИМ ЭЛЕКТРОДОМ-ИНСТРУМЕНТОМ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ : доклад, тезисы доклада / И. Я. Шестаков, В. И. Шестаков. - [Б. м. : б. и.], 2023. - Текст : непосредственный // Актуальные проблемы авиации и космонавтики : Сборник материалов IX Международной научно-практической конференции, посвященной Дню космонавтики. В 3-х томах / Под общей редакцией Ю.Ю. Логинова ; Актуальные проблемы авиации и космонавтики (2023 ; 10.04 - 14.04 ; Красноярск). - Красноярск : Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Сибирский государственный университет науки и технологий имени академика М.Ф. Решетнева", 2023. - 1. - С. 572-573. Перевод заглавия: POSSIBILITY OF ELECTRO-CONTACT-CHEMICAL CUTTING WITH A VIBRATING ELECTRODE-TOOL OF SINGLE-CRYSTAL SILICON
Аннотация:В любом аппарате ракетно-космической техники имеются электронные приборы, при изготовлении которых используется полупроводниковый кремний в виде подложки(пластины). При изготовлении пластины применяется механическая резка, которая требует больших затрат. Оценивается возможность использования электро-контактно-химического способа резки для получения пластины монокристаллического кремния.
In any apparatus of rocket and space technology there are electronic devices, in the manufacture of which semiconductor silicon is used in the form of a substrate (plate). In the manufacture of the plate, mechanical cutting is used, which is costly. The possibility of using an electro-contact-chemical cutting method to obtain a single-crystal silicon wafer is evaluated.
Издательство:Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Сибирский государственный университет науки и технологий имени академика М.Ф. Решетнева, Красноярск
Выпуск:1
Мероприятие:Актуальные проблемы авиации и космонавтики (Красноярск, 2023 ; 10.04 - 14.04)
Номера страниц:572-573
Держатель оригинала документа:Сибирский государственный университет науки и технологий имени академика М. Ф. Решетнева
Количество экземпляров:
Твёрдая копия издания отсутствует в фонде библиотеки
