Волоконно-оптический датчик концентрации водорода на базе интерферометра Фабри-Перо, изготовленный с использованием наноразмерных слоев Al2O3/Ta/SiO2 : научное издание
Библиографическое описание:Волоконно-оптический датчик концентрации водорода на базе интерферометра Фабри-Перо, изготовленный с использованием наноразмерных слоев Al2O3/Ta/SiO2 : научное издание / А. М. Минкин [и др.]. - Текст : непосредственный // Прикладная фотоника. - 2023. - Т. 10, № 2. - С. 25-41. - Исследования выполнено при финансовой поддержке Пермского научно-образовательного центра «Рациональное недропользование», 2023 г. - ISSN 2411-4367. - ISSN 2411-4375.
Аннотация:В работе рассматриваются технологические и эксплуатационные характеристики волоконно-оптического датчика концентрации молекулярного водорода на основе интерферометра Фабри-Перо. Показана возможность регистрации концентрации водорода по деформации мембраны с осажденным на ее внешнюю поверхность слоем Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>/Ta/SiO<sub>2</sub>. Осажденная пленка α-тантала обеспечивает высокую диффузию водорода и позволяет создавать датчики с быстрым откликом к водороду, менее 10 с. Установлено практически полное отсутствие кросс-чувствительности датчика к температуре в диапазоне от 20 до 80 °С при давлении водорода 1 атм.
The article discusses the technological and operational characteristics of a fiber-optic sensor of molecular hydrogen concentration based on the Fabry-Perot interferometer. The possibility of registering the hydrogen concentration by deformation of a membrane with an Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>/Ta/SiO<sub>2</sub> layer deposited on its outside surface is shown. The deposited α-tantalum film provides high diffusion of hydrogen, and allows you to create sensors with a fast response to hydrogen, less than 10s. The almost complete absence of cross-sensitivity of the sensor to temperature in the range from 20 °C to 80 °C at a hydrogen pressure of 1 atm.
Издательство:Пермский национальный исследовательский политехнический университет, Пермь
Источник:Прикладная фотоника
Выпуск:Т. 10, № 2
Номера страниц:25-41
Держатель оригинала документа:Пермская научно-производственная приборостроительная компания, Пермский государственный национальный исследовательский университет
Количество экземпляров:
Твёрдая копия издания отсутствует в фонде библиотеки
