Библиографическое описание:ПОЛУЧЕНИЕ УГЛЕРОДНЫХ ПЛЕНОК НА САПФИРЕ С ПОМОЩЬЮ ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ И ИХ ИССЛЕДОВАНИЕ : доклад, тезисы доклада / И. А. Харченко [и др.]. - [Б. м. : б. и.], 2021. - Текст : непосредственный // Решетневские чтения : Материалы XXV Международной научно-практической конференции, посвященной памяти генерального конструктора ракетно-космических систем академика М.Ф. Решетнева. В 2-х частях / Под общей редакцией Ю.Ю. Логинова ; Решетневские чтения (2021 ; 10.11 - 12.11 ; Красноярск). - Красноярск : Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Сибирский государственный университет науки и технологий имени академика М.Ф. Решетнева", 2021. - Часть 1. - С. 674-676. - ISBN 9785864338841. Перевод заглавия: PRODUCTION OF CARBON FILMS ON SAPPHIRE USING CHEMICAL DEPOSITION FROM THE GAS PHASE AND THEIR STUDY
Аннотация:Проведено экспериментальное исследование процесса формирование углеродных слоев на сапфировой подложке методом CVD. Представлены результаты, полученные с помощью атомно-силовой микроскопии.
An experimental study of the formation of carbon layers on a sapphire substrate by the CVD method has been carried out. The results obtained using atomic force microscopy are presented.
Издательство:Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Сибирский государственный университет науки и технологий имени академика М.Ф. Решетнева, Красноярск
Держатель оригинала документа:Институт вычислительного моделирования СОРАН, Институт физики им. Л. В. Киренского СОРАН, Сибирский федеральный университет
Количество экземпляров:
Твёрдая копия издания отсутствует в фонде библиотеки
