Библиографическое описание:СИНТЕЗ И ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ТОНКИХ TiO2 И SiO2 ПЛЕНОК, ПОЛУЧЕННЫХ РЕАКТИВНЫМ МАГНЕТРОННЫМ НАПЫЛЕНИЕМ : доклад, тезисы доклада / И. А. Тамбасов [и др.]. - [Б. м. : б. и.], 2021. - Текст : непосредственный // Решетневские чтения : Материалы XXV Международной научно-практической конференции, посвященной памяти генерального конструктора ракетно-космических систем академика М.Ф. Решетнева. В 2-х частях / Под общей редакцией Ю.Ю. Логинова ; Решетневские чтения (2021 ; 10.11 - 12.11 ; Красноярск). - Красноярск : Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Сибирский государственный университет науки и технологий имени академика М.Ф. Решетнева", 2021. - Часть 1. - С. 591-592. - ISBN 9785864338841. Перевод заглавия: SYNTHESIS AND OPTICAL PROPERTIES OF TiO2 AND SiO2 THIN FILMS OBTAINED BY REACTIVE MAGNETRON SPUTTERING
Аннотация:Синтезированы тонкие пленки TiO2 и SiO2 с помощью реактивного магнетронного напыления. Синтез тонких пленок проводился путем распыления металлической мишени титана и кремния соответственно. Кислород использовался как реактивный газ при распылении. Получены оптимальные технологические условия для получения высококачественных тонких пленок TiO2 и SiO2 с высокой оптической прозрачностью.
Thin films of TiO2 and SiO2 have been synthesized using reactive magnetron sputtering. The synthesis of thin films was carried out by sputtering metal titanium and silicon targets, respectively. Oxygen was used as a reactive gas. Optimum technological conditions have been discovered for obtaining high-quality thin films of TiO2 and SiO2 with high optical transparency.
Издательство:Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Сибирский государственный университет науки и технологий имени академика М.Ф. Решетнева, Красноярск
Держатель оригинала документа:Акционерное общество «Информационные спутниковые системы» имени академика М. Ф. Решетнёва», ООО «Научно-производственная компания «Спецтехнаука», Сибирский федеральный университет
Количество экземпляров:
Твёрдая копия издания отсутствует в фонде библиотеки
