1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
Активныйлитографическийшаблон смикромеханическиподвижнымиэлементами, способего получения испособ формирования…: патент наизобретение Хартов Станислав ВикторовичВоронин Антон СергеевичИванченко Федор Сергеевич2021 год

Активный литографический шаблон с микромеханически подвижными элементами, способ его получения и способ формирования функциональной структуры с использованием активного шаблона : патент на изобретение

Дополнительные ссылки: eLibrary
База данных: Каталог библиотеки СФУ
Библиографическое описание: Активный литографический шаблон с микромеханически подвижными элементами, способ его получения и способ формирования функциональной структуры с использованием активного шаблона : патент на изобретение / С. В. Хартов, А. С. Воронин, Ф. С. Иванченко [и др.] ; патентообладатель Общество с ограниченной ответственностью "ФЛЕКСОНИ". - № 2020114446 ; Заявл. 13.04.2020. - [Б. м. : б. и.], 2021. - Текст : непосредственный.
Аннотация: Изобретение относится к литографическим шаблонам. Активный литографический шаблон характеризуется тем, что он содержит элементы в виде островков и окон, причем элементы в виде островков выполнены с возможностью совершать микромеханическое движение на расстояния от 1 нм до 500 мкм на этапе формирования шаблона и/или на этапе нанесения слоя/слоев целевого материала через данный шаблон, причем указанное движение обусловлено релаксацией механических напряжений в островках шаблона, механические напряжения, в свою очередь, вызваны протеканием физической и/или химической реакции в веществе островков шаблона, инициируемой внешним физическим и/или химическим воздействием. Изобретение обеспечивает увеличение максимальной допустимой толщины наносимого через шаблон материала и увеличение технологичности создания и использования шаблона. 3 н. и 17 з.п. ф-лы, 28 ил.<br>
FIELD: lithography.<br> SUBSTANCE: invention relates to lithographic templates. An active lithographic template is characterized by that it contains elements in the form of islands and windows, wherein elements in the form of islands are made with the possibility to perform micromechanical movement at distances from 1 nm to 500 mcm at the stage of template formation and/or at the stage of applying a layer/layers of target material through this template, wherein the specified movement occurs due to the relaxation of mechanical stresses in islands of the template, mechanical stresses, in turn, are caused by a physical and/or chemical reaction in substance of islands of the template, initiated by external physical and/or chemical influence. <br> EFFECT: invention provides an increase in the maximum allowable thickness of material applied through the template and an increase in the manufacturability of creating and using the template.<br> 20 cl, 28 dwg<br>
Год издания: 2021
Авторы: Хартов Станислав Викторович, Воронин Антон Сергеевич, Иванченко Федор Сергеевич, Симунин Михаил Максимович, Фадеев Юрий Владимирович, Карпова Дарина Валерьевна, Шиверский Алексей Валерьевич
Авторский коллектив: Общество с ограниченной ответственностью "ФЛЕКСОНИ"
Держатель оригинала документа: Общество с ограниченной ответственностью "ФЛЕКСОНИ"
Количество экземпляров:
Твёрдая копия издания отсутствует в фонде библиотеки

Похожие публикации

АНАЛИЗ ФУНКЦИОНАЛЬНОЙАКТИВНОСТИНЕЙТРОФИЛОВ У МУЖЧИНС МЕХАНИЧЕСКОЙЖЕЛТУХОЙ РАЗЛИЧНОГОГЕНЕЗА Даренская Марина АлександровнаСмирнова О.В.Губанов Б.Г.2020 год

АНАЛИЗ ФУНКЦИОНАЛЬНОЙ АКТИВНОСТИ НЕЙТРОФИЛОВ У МУЖЧИН С МЕХАНИЧЕСКОЙ ЖЕЛТУХОЙ РАЗЛИЧНОГО ГЕНЕЗА : научное издание

  • Даренская Марина Александровна и др.
  • 2020 год
О граничных значенияхв геометрическойтеории функций вобластях с подвижнымиграницами Водопьянов СергейКонстантиновичПавлов Степан Валерьевич2024 год

О граничных значениях в геометрической теории функций в областях с подвижными границами : статья из журнала

  • Водопьянов Сергей Константинович и др.
  • 2024 год
Модель опорной ногиантропоморфногоробота илиэкзоскелета с двумяподвижными звеньями сучетом динамикиэлектропривода Блинов Александр ОлеговичБорисов Андрей ВалерьевичКончина Лариса Владимировна2022 год

Модель опорной ноги антропоморфного робота или экзоскелета с двумя подвижными звеньями с учетом… : статья из журнала

  • Блинов Александр Олегович и др.
  • 2022 год
Способструктурообразованияматериала прутковыхзаготовокпрессованием вподвижных матрицах Матвеев Анатолий СергеевичКазаков Роман АлександровичИванов Александр Валерьевич2014 год

Способ структурообразования материала прутковых заготовок прессованием в подвижных матрицах : статья из журнала

  • Матвеев Анатолий Сергеевич и др.
  • 2014 год
Закономерностиизменений показателейсистемы "перекисноеокисление липидов –антиоксидантнаязащита" ифункциональной… Губанов Борис Геннадьевич2022 год

Закономерности изменений показателей системы "перекисное окисление липидов – антиоксидантная… : специальность ""

  • Губанов Борис Геннадьевич
  • 2022 год
Способ получениягибридной двухфазнойсистемы доставкималорастворимых инерастворимых в водебиологическиактивных… Архипов Антон БорисовичДементьев Дмитрий ДавидовичНаумиди Татьяна Леонидовна2017 год

Способ получения гибридной двухфазной системы доставки малорастворимых и нерастворимых в воде… : патент на изобретение

  • Архипов Антон Борисович и др.
  • 2017 год
Определениеоптимальной структурыпарка подвижногосостава городскогопассажирскоготранспорта общегопользования с… Фадеев Александр ИвановичФомин Евгений Валериевич2018 год

Определение оптимальной структуры парка подвижного состава городского пассажирского транспорта… : статья из журнала

  • Фадеев Александр Иванович и др.
  • 2018 год
ОПРЕДЕЛЕНИЕОПТИМАЛЬНОЙ СТРУКТУРЫПАРКА ПОДВИЖНОГОСОСТАВА ГОРОДСКОГОПАССАЖИРСКОГОТРАНСПОРТА ОБЩЕГОПОЛЬЗОВАНИЯ С… Фадеев Александр ИвановичФомин Евгений Валериевич2018 год

ОПРЕДЕЛЕНИЕ ОПТИМАЛЬНОЙ СТРУКТУРЫ ПАРКА ПОДВИЖНОГО СОСТАВА ГОРОДСКОГО ПАССАЖИРСКОГО ТРАНСПОРТА… : научное издание

  • Фадеев Александр Иванович и др.
  • 2018 год