Библиографическое описание:Измерительный комплекс для проведения исследований магнитных характеристик тонких ферромагнитных пленок : научное издание / С. А. Клешнина [и др.]. - Текст : непосредственный // Успехи современной радиоэлектроники. - 2019. - № 12. - С. 66-70. - ISSN 2070-0784, DOI 10.18127/j20700784-201912-10. Перевод заглавия: Measuring complex for research of magnetic characteristics of ferromagnetic thin films
Аннотация:Постановка проблемы. Изучение свойств ферромагнитных пленок способствует решению фундаментальных проблем физики магнитных явлений, развитию теории ферромагнетизма. Для исследования и проектирования тонкопленочных устройств необходимо использовать надежные методы их диагностики, современное программное и аппаратное обеспечение. Поэтому в настоящее время актуальна задача разработки устройств и методов для измерений магнитных характеристик тонких ферромагнитных пленок. Цель. Создать комплекс для локальных измерений магнитных характеристик тонких ферромагнитных пленок, обладающий одновременно высокой чувствительностью и возможностью изменения степени локальности измерений в широких пределах. Результаты. Рассмотрен новый измерительный комплекс, предназначенный для исследования магнитных характеристик тонких ферромагнитных пленок. Представлена схема измерительного комплекса магнитных характеристик тонких ферромагнитных пленок, приведено развернутое описание конструкции, методики измерений и результаты эксперимента, подтверждающие, что измерительный комплекс реализует заявленные характеристики. Практическая значимость. Предложен новый измерительный комплекс, предназначенный для локальных измерений маг-нитных характеристик тонких ферромагнитных пленок, пригодный для неразрушающего контроля качества и однородности тонких магнитных пленок, обладающий высокой чувствительностью и возможностью изменения степени локальности проводимых измерений в широких пределах.
The introduction reveals the topicality of the development, due to the worldwide interest in thin films. Research and design which requires the use of reliable diagnostic methods, modern software and hardware. A new measuring complex of magnetic characteristics of thin ferromagnetic films is proposed. It allows one to measure the distribution over the film area of the magnitude and direction of the anisotropy field. The article presents the developed design of the complex for local measurements of the magnetic characteristics of ferromagnetic films and its structural scheme. Fanselau orthogonal coils and a five-coordinate displacement and rotation system are fixed on a common base. A thin magnetic film is placed on the measuring table. The measuring table has the possibility of two-coordinate movement and rotation. Due to this, it is set in such a way that the portion of the sample intended for measurements is on the axis of the sensing element. In turn, the sensitive element is exposed until it approaches the sample due to the possibility of movement along its axis. The measurement procedure is described. It includes the following steps: measuring amplitude and angular dependencies; determination of the approximate value of the anisotropy field of the sample in the region of the studied area and its direction; determination of the exact value of the anisotropy field of the sample in the studied region; measuring the distribution of magnetic characteristics over the area of the sample. The results of the measurements are presented. The experimentally obtained distribution of the anisotropy field over the area of the sample with dimensions of 60×40 mm is shown. The technical result is the ability to conduct local measurements of the magnetic characteristics of thin-film ferromagnetic samples with high sensitivity due to measurements at frequencies of the microwave range.
